[实用新型]伸缩式真空吸笔有效
申请号: | 201220607550.6 | 申请日: | 2012-11-17 |
公开(公告)号: | CN202905685U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 刘振华;任海兵 | 申请(专利权)人: | 镇江大全太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人: | 夏哲华 |
地址: | 212211 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伸缩 真空 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造过程中使用的工具,具体是一种用来拾取原料硅片的伸缩式真空吸笔。
背景技术
晶体硅电池制造过程中,最常见的情况还是利用人工进行取片或者插片,考虑到硅片的防静电的要求,操作人员在操作时都必须带静电手套,否则硅片的质量和可靠性会受到影响。但是手动取片时,力度、姿势不当则会对硅片造成损伤,或者硅片在制造过程中处于设备某些位置,不可以用手取。
后来,出现了一些真空吸笔,真空吸笔整体形状和大小与一般钢笔类似,一端连接一个气囊,另一端设置吸嘴,而吸嘴上通常只分布一个或几个小孔,这样如果硅片表面有微小不平整,则很容易发生掉片。另外,由于该种类型的吸笔长度有限,对特定位置的硅片吸取不易,给生产人员带来很大的不便。
其它一些真空吸笔没有自带的气囊,需要连接外部的压缩空气源,在取片的时候吸笔只能在固定范围使用,或者由于外围压力不稳,气压忽高忽低,很容易吸碎硅片,另外其设备成本也较高。
发明内容
本发明提供一种使用方便、成本低廉,能够可靠拾取硅片的伸缩式真空吸笔。
本实用新型的伸缩式真空吸笔包括有多段相互嵌套并可相对伸缩的吸管,并且外层的吸管下端与内层吸管外壁密封接触,最外层的吸管上端连接一个弹性气囊,最内层的吸管下端连接一个吸嘴。
所述弹性气囊由两个直径较大的囊体和连接在两个囊体之间的直径较小的孔道组成。
所述吸嘴包括有一个锥形腔体,锥形腔体顶部与吸管相通,锥形腔体底部密布吸气小孔。
所述吸管与吸嘴之间通过一段柔性软管连接,以方便调整吸嘴的方向。
本实用新型结构简单、操作方便;其伸缩的结构各可调整方向的吸嘴能够适应于不同的操作空间;其两段式的弹性气囊,能够提高吸气的稳定性,保证可靠拾取硅片。
附图说明
图1是本实用新型实施例的结构示意图;
图2是本实用新型实施例的吸嘴放大结构示意图。
具体实施方式
如图所示,该伸缩式真空吸笔包括有多段相互嵌套并可相对伸缩的吸管1,并且外层的吸管下端与内层吸管外壁密封接触,最外层的吸管上端连接一个弹性气囊2,最内层的吸管下端连接一个吸嘴3。弹性气囊2由两个直径较大的囊体21和连接在两个囊体之间的直径较小的孔道22组成。吸嘴3包括有一个锥形腔体,锥形腔体顶部与吸管相通,锥形腔体底部密布吸气小孔31。吸管1与吸嘴3之间通过一段柔性软管4连接,以方便调整吸嘴的方向。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造