[实用新型]晶圆盒底座

权利要求书

1.一种晶圆盒底座，其特征在于，包含：

一本体，所述本体两侧面形成至少两开口；

一闩锁机构，所述闩锁机构设于所述本体内，所述闩锁机构具有一转动开关及两对称设置的闩锁板，所述闩锁板并设有卡掣部以对应于所述本体的开口，所述卡掣部在所述两开口内外之间伸出及缩入；

一透明底板，所述透明底板设于所述本体及闩锁机构的底部，所述透明底板便于由外部直接检视所述晶圆盒底座内部的组件使用情形；以及

两弹性机构，所述弹性机构设于所述本体及闩锁机构之间，其中所述闩锁板因所述弹性机构的抵撑而使所述闩锁板在无外力干涉下位于一伸出位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述闩锁机构及透明底板之间设有一定位机构。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述弹性机构在所述本体底部设有两插座、两抵撑壁及两弹性件，并且所述两闩锁板上各设一插孔。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述定位机构在所述闩锁机构的转动开关上设有一个以上的定位凸点。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述定位机构在所述透明底板上对应设有一卡固组件。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述卡固组件在透明底板上设有一载座、一抵持座及一卡固件。