[实用新型]一种化学品供应的监控报警系统

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及半导体监控化学品供应状态的系统技术领域，具体地说是一种化学品供应的监控报警系统。

[背景技术]

随着集成电路行业的发展，半导体制程工艺不断演进，密集度越来越高，资金投入越来越多，这些因素都对厂务动力系统的无故障运行能力提出了更高的要求，尤其是要求物料调配与制造部门之间的协调关系达到零差错。其中，作为极为重要的厂务化学品供应系统是为生产线提供无中断化学品供应的调配系统，其稳定性与可靠性直接关系到生产线的正常运行。在厂务化学品供应系统中所必须追踪和关注的各类问题中，化学品供应是一个核心点，其短缺或调配有误将直接造成整条半导体生产线的停滞，并极有可能导致当前的在制品的损坏。不仅是集成电路，类似的问题还存在与之相近的各行业中，例如太阳能光伏产业、液晶面板等制造业。

目前的化学品监控预警存在以下不足：其一、采用人工方式对化学品指标数据进行监控检查，难以及时准确地发现供应异常，容易造成错、漏报警；其二、根据经验值设置预警阈值，不能保证阈值设置的科学合理性，且不能动态地根据最新的生产消耗等指标数据及时更新预警阈值；其三、化学品监控预警系统的缺失，不仅不能实现化学品监控预警的自动化、降低管理效率和水平，而且难以通过集成历史数据，以计算出更优的预警阈值。

正是由于上述及其他潜在的不利因素，会导致化学品供应预警的滞后，造成误报和漏报，影响正常生产。因此，非常有必要对化学品进行密切监控，并在化学品的使用和库存出现异常情况时准确预警，及时进行化学品补充，从而保证生产正常运行。此外，除了对化学品进行必要的监控外，还需要做到整合历史指标数据，计算并设置预警阈值，通过监控预警系统辅助管理人员在化学品供应时能够对潜在风险进行有效预警，从而及时、高效、准确、自动地进行化学品供应管理。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应的监控报警系统。对于提高半导体制造、液晶面板制造、太阳能制造等高科技制造业的化学品管理效率，降低化学品供应风险，保障生产线安全正常生产都具有重大意义。

为实现上述目的设计一种化学品供应的监控报警系统，主要包括以下模块：

采集模块，用于采集化学品供应系统中的化学品使用量指标数据和化学品库存系统中的化学品库存量指标数据以及一个时间内的化学品的历史使用量指标数据的数值集合；

PLC模块，根据所述化学品的历史使用量指标数据的数值集合计算该历史使用量指标数据的数值集合的数学期望值和均方差值，控制化学品的泵、气动阀打开、关闭；

设置模块，根据所述数学期望值和所述均方差值设置动态使用量预警上限阈值和动态使用量预警下限阈值；以及根据所述数学期望值和所述均方差值和化学品的动态库存量预警天数值设置动态库存量预警阈值；

预警模块，将化学品使用量指标数据与动态使用量预警上限阈值和动态使用量预警下限阈值进行比较，在化学品使用量指标数据不在动态使用量上限预警阈值和动态使用量下限预警阈值的范围之内时进行预警；以及将采集的化学品库存量指标数据与动态库存量预警阈值进行比较，在化学品使用量指标数据小于动态库存量预警阈值时进行预警。

所述采集模块，还采集化学品混合系统中的混合化学品重量、比重指标数据。

本实用新型同现有技术相比，能根据历史数据设置化学品动态使用量预警上下限阈值和动态库存量预警阈值，实现使用量和库存量异常时及时、有效预警。对于提高半导体制造、液晶面板制造、太阳能制造等高科技制造业的化学品管理效率，降低化学品供应风险，保障生产线安全正常生产都具有重大意义，此外，本实用新型系统操作方便、可靠，值得推广应用。

[附图说明]

图1是本实用新型的控制原理示意图；

图中：1为预警模块、2为采集模块、3为气动阀、4为泵、5为化学品、6为化学品库存系统、7为化学品混合系统、8为化学品供应系统、9为PLC模块、10为设置模块。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图所示，本实用新型包括：主要包括以下模块：

采集模块1，用于采集化学品供应系统8中的化学品使用量指标数据和化学品库存系统6中的化学品库存量指标数据以及一个时间内的化学品的历史使用量指标数据的数值集合；

PLC模块9，根据所述化学品的历史使用量指标数据的数值集合计算该历史使用量指标数据的数值集合的数学期望值和均方差值，控制化学品5的泵4、气动阀3打开、关闭；