[实用新型]一种快速旋转抓取装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及传动装置，尤其涉及一种用于硅片链式清洗、刻蚀辅助上片设备的快速旋转抓取装置。

背景技术

现有自动送片的设备不能保证硅片在送片时按批次生产，生产效率低下。随着硅片生产工艺的进步，开发高效可按批次生产硅片的自动送片设备已成必

然。如何研发高效吸片的送片传动装置业界亟待解决的技术难题。 

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提出一种用于硅片链

式清洗、刻蚀辅助送片设备的快速旋转抓取装置。

本实用新型采用以下技术方案是，设计一种快速旋转抓取装置，包括：旋转组件，由电机驱动的立柱和由该立柱支撑并能绕其旋转的转板组成；分别设于所述转板两端底部并向下伸出的至少三个支撑杆，所述的支撑杆中间设有吸盘；承载盒，其底部与一升降机构连接，上部与吸盘配合；和一与吸盘配合的传输装置。

所述的吸盘可以采用气动非接触吸盘，或电磁非接触吸盘。

所述的传输装置可以采用皮带传动装置，或链式传动装置。

与现有技术相比，本实用新型很好地解决了自动送片设备中快速抓取、放下和传输硅片的问题，大大提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对实用新型进行详细的说明。

本实用新型采用非接触吸盘快速吸起，旋转连续送片的方式将硅片从A处吸起，旋转至B处放下。如图1和图2所示，本实用新型提出的快速旋转抓取装置包括：由电机驱动的立柱1和由该立柱支撑并能绕其旋转的转板2组成旋转组件；分别设于转板2两端底部并向下伸出的至少三个支撑杆3，支撑杆中间设有吸盘4，该吸盘可以采用气动非接触吸盘，或电磁非接触吸盘；承载盒5，其底部与一升降机构6连接，上部与吸盘4配合；和一与吸盘4配合的传输装置7，该传输装置采用皮带传动装置，或链式传动装置。

在本具体实施例中，支撑杆3为空心杆并带辅助吸盘，旋转组件通过电机带动旋转，非接触吸盘4的底端低于支撑杆3，并采用空心杆加辅助吸盘底端的结构。

工作时，硅片8置于A处承载盒5内，升降机构6可带动承载盒5的底板上下移动。转板2可绕立柱1旋转，带动非接触吸盘4、硅片8和支撑杆6旋转。当升降机构6将硅片8升到一定高度时，旋转组件旋转至承载盒5处通过非接触吸盘快速吸起硅片，吸附时，利用非接触吸盘产生的吸力吸起硅片，并利用支撑杆支撑将硅片吸附住，然后通过旋转组件的旋转使硅片移动至放片工位B。下一个非接触吸盘则旋转至吸片工位A，升降机构同时将硅片提升至吸盘可吸范围内，使非接触吸盘不做上下动作即可以直接吸附硅片从而缩短了时间提高了硅片的送片效率。

本实用新型工作的具体步骤为：

第一步：升降机构6将位于承载盒5中的硅片8上升到一定高度；

第二步：旋转组件带动非接触吸盘4、支撑杆6旋转到承载盒5的正上方；

第三步：非接触吸盘4通气，吸起硅片；

第四步：升降机构6将位于承载盒5中的硅片8下降到一定高度；

第五步：旋转组件带动非接触吸盘4、硅片8、支撑杆6旋转至传送装置7处；

第六步：非接触吸盘4停止通气，放下硅片8，并通过传输装置7送到下一步工位。

上述实施例仅用于说明本实用新型的具体实施方式。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和变化，这些变形和变化都应属于本实用新型的保护范围。