[实用新型]靶材检测夹具

权利要求书

1.一种靶材检测夹具，其特征在于，包括：

底座；

定位部，设置于所述底座上，所述定位部具有凹槽，所述凹槽的开口方向与所述底座相背，所述凹槽的侧壁形状与带检测靶材的侧面形状相吻合，在将待检测靶材置于所述凹槽时，所述待检测靶材的部分侧面与所述凹槽侧壁贴合；

保护部，包括第一保护部和第二保护部，所述第一保护部设置在所述待检测靶材的溅射面一侧，所述第二保护部设置在与所述待检测靶材溅射面相对的一侧，防止置于所述凹槽的待检测靶材侧倒。

2.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，还包括：位于所述凹槽底部的定位槽，所述凹槽相对于所述定位槽呈对称分布。

3.如权利要求2所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述定位槽沿待检测靶材厚度方向的宽度小于等于所述凹槽侧壁沿待检测靶材厚度方向的宽度。

4.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述第一保护部呈板状，与所述定位部固定连接；所述第二保护部呈杆状，所述定位部具有孔，所述杆状的第二保护部的两端穿过所述孔以实现与所述定位部的连接。

5.如权利要求4所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述定位部与所述第一保护部呈一体结构。

6.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述第一保护部和第二保护部均呈板状，与所述定位部固定连接；或者，所述第一保护部和第二保护部均呈杆状，所述定位部具有孔，所述杆状的第二保护部、第一保护部的两端穿过所述孔以实现与所述定位部的连接。

7.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述第一保护部与所述第二保护部之间的距离与待检测靶材厚度的差值小于等于1mm。

8.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述凹槽侧壁沿待检测靶材厚度方向的宽度大于等于待检测靶材厚度的95％。

9.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，在检测夹具上与待检测靶材接触的位置贴有胶带或净化布，防止待检测靶材表面受损。

10.如权利要求1所述的靶材检测夹具，其特征在于，所述底座呈板状。