[实用新型]用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板有效
| 申请号： | 201220420182.4 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN202786506U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 潘欢欢;郭宽新;孙海知;宋江 | 申请（专利权）人： | 海润光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214407 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 高效 多晶 硅片 生产 坩埚 垫板 | ||
1.一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，它包括坩埚垫板本体（1），其特征在于所述坩埚垫板本体（1）的上表面设置有多条纵横交错布置的槽（2）。
2.根据权利要求1所述的一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，其特征在于所述槽（2）的截面形状为倒三角形、倒梯形或者矩形。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，其特征在于所述槽（2）内嵌置有隔热条（3）或者涂敷有保温涂料。
4.根据权利要求3所述的一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，其特征在于所述坩埚垫板本体（1）的总厚度H为0.1~10cm，所述槽（2）的截面形状为倒三角形，倒三角形的高h为0.2~9.9cm，倒三角形的底边长L1为0.1~10cm，相邻两槽（2）的间距d为0.1~5cm。
5.根据权利要求3所述的一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，其特征在于所述坩埚垫板本体（1）的总厚度H为0.1~10cm，所述槽（2）的截面形状为倒梯形，倒梯形的高h为0.2~9.9cm，倒梯形的顶边长L1为0.1~10cm，倒梯形的底边长L2为0.1~10cm，相邻两槽（2）的间距d为0.1~5cm。
6.根据权利要求3所述的一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，其特征在于所述坩埚垫板本体（1）的总厚度H为0.1~10cm，所述槽（2）截面形状为矩形，矩形的高h为0.2~9.9cm，矩形的宽L1为0.1~10cm，槽与槽间隔d为0.1~5cm。
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