[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201220301138.1 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN202679627U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 庞胜利;宋青林;刘诗婧;宋红磊 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括：由一端开口的外壳和线路板组成的封装结构，所述外壳开口端设置在线路板上，所述封装结构内部所述线路板表面上设有MEMS声电芯片和ASIC芯片，所述MEMS声电芯片、所述ASIC芯片以及线路板之间通过导电线电连接，其特征在于：所述外壳侧壁内部设有连通所述外壳外侧壁与外壳开口端面的第一通道，所述线路板内部设有第二通道，所述第二通道连通所述第一通道与所述MEMS声电芯片。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一通道以及所述第二通道分别通过蚀刻的方式设置在所述外壳和所述线路板上。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一通道以及所述第二通道分别通过机械加工的方式设置在所述外壳和所述线路板上。
4.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述导电线为金线。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述外壳外侧壁所述第一通道开口位置以及与所述MEMS声电芯片相连通的所述线路板表面所述第二通道开口位置分别设有防尘网。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述外壳外侧壁所述第一通道开口位置或者与所述MEMS声电芯片相连通的所述线路板表面所述第二通道开口位置设有防尘网。
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