[实用新型]一种多工位激光溅射样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多工位激光溅射样品台，特别是涉及一种用于质谱仪的多工位激光溅射样品台。 

背景技术

质谱仪器一般由离子源；离子传输系统和质量分析系统组成，现有的质谱仪器样品台存在无法满足多样品质谱监测的缺点，且更换样品后又要重新进行激光调焦，浪费了实验时间，降低了实验效率。因此亟需提供一种新型的多工位激光溅射样品台。 

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种实现了多样品的质谱检测，并且激光快速调焦的多工位激光溅射样品台。 

为解决上述技术问题，本实用新型一种多工位激光溅射样品台，包括环状的样品盘、环状的定位爪，以及插入定位爪之中的转轴；定位爪顶部径向表面上沿周向等间距设有三个定位块，定位块外表面卡住样品盘的轴向内表面；定位爪轴向外表面顶部沿周向等间距设有三个托块，托块上表面拖住样品盘下表面；样品盘上表面沿周向均匀设有若干个斜面，斜面为样品放置面。 

斜面的个数为36个。 

斜面与水平面形成10°～15°的角度。 

角度为13°。 

本实用新型利用36等分的样品盘实现了多样品的质谱检测。 

本实用新型通过样品盘的旋转斜面及绕轴微小转动实现了激光束的快速 调焦。 

本实用新型提高了激光溅射质谱的换样及调焦效率。 

附图说明

图1为本实用新型所提供的一种多工位激光溅射样品台。 

图2为本实用新型所提供的一种多工位激光溅射样品台的样品盘的示意图。 

图3为本实用新型所提供的一种多工位激光溅射样品台的定位爪的示意图。 

图中：1为激光束，2为聚焦透镜，3为样品盘，4为定位爪，5为转轴。 

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。 

本实用新型包括环状的样品盘3、环状的定位爪4，以及插入定位爪4之中的转轴5。转轴5通过动密封使得样品台处于真空环境之中。 

定位爪4顶部径向表面上沿周向等间距设有三个定位块，定位块4外表面卡住样品盘的轴向内表面；定位爪轴向外表面顶部沿周向等间距设有三个托块，托块上表面位于同一水平面，拖住样品盘3下表面。依靠样品盘3与定位块的摩擦力将转轴5的旋转运动传递给样品盘3。 

样品盘3上表面沿周向均匀设有36个斜面，斜面为样品放置面。斜面与水平面形成10°～15°的角度，优选角度为13°，该斜面尖角处可作为点样品时的边界。激光束1透过聚焦透镜2在样品盘3的旋转斜面上聚焦。样品吸收激光能量后产生离子作为质谱仪的离子源。样品盘3旋转实现一次换样后多次分析，在同一个斜面上样品盘3的微小转动可以实现激光束的调焦，使得激光溅射的效果达到最佳。 

实验时，1）将样品点至样品盘3的各斜面上并烘干；2）将样品盘3装在定位爪4上；3）调整激光束1及聚焦透镜2使激光束焦点落在样品盘3某一斜面的中部；4）初步调整好后对装置所在密封系统抽真空；5）开启激光束使样品电离，并利用电场将样品离子送入质谱仪器，同时调整转轴使得离子束强度最大。6）当完成该样品的测试后，将转轴5旋转10度，对下一样品进行分析测试，具体测试过程见步骤5）。