[实用新型]一种多工位激光溅射样品台有效
| 申请号： | 201220202302.3 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN202649169U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 范增伟;郭冬发;刘桂方;董晨 | 申请（专利权）人： | 核工业北京地质研究院 |
| 主分类号： | G01N27/64 | 分类号： | G01N27/64;H01J49/04 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高尚梅;高爽 |
| 地址： | 100029 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 激光 溅射 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种多工位激光溅射样品台，其特征在于：包括环状的样品盘、环状的定位爪，以及插入定位爪之中的转轴；所述定位爪顶部径向表面上沿周向等间距设有三个定位块，所述定位块外表面卡住所述样品盘的轴向内表面；所述定位爪轴向外表面顶部沿周向等间距设有三个托块，所述托块上表面拖住所述样品盘下表面；所述样品盘上表面沿周向均匀设有若干个斜面，所述斜面为样品放置面。
2.根据权利要求1所述的一种多工位激光溅射样品台，其特征在于：所述斜面的个数为36个。
3.根据权利要求1所述的一种多工位激光溅射样品台，其特征在于：所述斜面与水平面形成10°～15°的角度。
4.根据权利要求3所述的一种多工位激光溅射样品台，其特征在于：所述角度为13°。
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