[实用新型]液浆喷射发生器有效
| 申请号： | 201220120989.6 | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN202487540U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 吕家权;苏贵东;杨成刚;李斌;蔡景洋;张玉刚;唐建荣;黄成高;冯云;连云刚;尹国平;高鹏;刘永鹏;冯大发;聂平建 | 申请（专利权）人： | 贵州振华风光半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 | 代理人： | 刘安宁 |
| 地址： | 550018 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷射 发生器 | ||
1. 一种液浆喷射发生器，其特征在于它由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成，其中：工作台由台板(1)和台柱(2)组成，台柱(2)支撑台板(1)，台板(1)中部开有一个圆形孔；液浆回收槽安装在台板(1)上方，液浆搅拌系统安装在台板(1)下方，防护隔离罩置于台板(1)上方、罩在液浆回收槽外部；液浆回收槽由长方形的槽体(3)和圆筒形的回流管(4)组成，槽体内有带小孔的隔板(5)将其分为上下两部分，槽体(3)下部四周有边、中心有回流管(4)；液浆搅拌系统由液浆筒(6)、鼓泡搅拌导管(7)、液浆导管(8)组成，鼓泡搅拌导管(7)和液浆导管(8)分别插入液浆筒(6)之中；喷头为一直管与一支管交叉的三通形，其支管是液浆进口(9)，直管两端是液浆喷射出口(10)和压缩空气进口(11)，液浆进口(9)有软管(16)连接到液浆导管(8)，压缩空气进口(11)与压缩空气管道连接；防护隔离罩是透明罩，其底部开有液浆回收槽安装孔(12)，侧面开有传递窗口(13)，顶部开有水雾排气孔(14)，正面开有两个操作孔(15)。
2. 按照权利要求1所述的液浆喷射发生器，其特征在于所述台板(1)中部开的圆形孔直径与液浆回收槽的回流管(4)外径一致。
3. 按照权利要求1所述的液浆喷射发生器，其特征在于所述防护隔离罩底板开的收槽安装孔(12)为长方形，尺寸与液浆回收槽外形一致。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
