[实用新型]非高温环境下等离子屏的真空排气装置有效
申请号: | 201220089520.0 | 申请日: | 2012-03-12 |
公开(公告)号: | CN202495413U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 李跃 | 申请(专利权)人: | 北京盛泉科技有限公司;李跃 |
主分类号: | H01J9/385 | 分类号: | H01J9/385 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 王道川 |
地址: | 100142 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高温 环境 下等 离子 真空 排气装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空排气装置,特别涉及一种用于等离子屏的真空排气装置。
背景技术
在现有技术中,等离子屏发光原理非常简单,制造原理也不复杂,但制造过程却耗时费工。从成本结构可以看到,玻璃基板成本仅占整段等离子屏面板成本的15%,而制造费就占了总成本的30%,主要原因是由于现有技术中等离子屏真空排气装置的结构复杂、成本高昂,并且在使用过程中抽真空与充入惰性气体的操作也比较繁琐。
实用新型内容
针对现有技术中存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种结构简单、成本低且抽真空与充入惰性气体的操作简单的非高温环境下等离子屏的真空排气装置。
本实用新型的技术方案是这样实现的:一种非高温环境下等离子屏的真空排气装置,包括屏体排气管、导气管、充惰性气体阀门、真空泵主阀门、惰性气体瓶和真空泵,所述惰性气体瓶依次通过惰性气体连接管和导气管与所述屏体排气管流体导通,所述真空泵通过导气管与所述屏体排气管流体导通,所述惰性气体连接管上安装有充惰性气体阀门,所述惰性气体连接管和所述导气管的连接点与所述真空泵之间的所述导气管上安装有真空泵主阀门。
上述非高温环境下等离子屏的真空排气装置,所述惰性气体连接管和所述导气管的连接点与所述屏体排气管之间的所述导气管上连通有封装排气管,所述封装排气管上装有一个通气阀门。
上述非高温环境下等离子屏的真空排气装置,所述真空泵主阀门与所述真空泵之间的所述导气管上安装有真空测量仪表,所述惰性气体连接管和所述导气管的连接点与所述真空泵主阀门之间的所述导气管上也安装有真空测量仪表。
本实用新型的有益效果是:(1)最大真空度可达1.0×10-5Pa,真空泵抽速不小于4L/S。(2)结构简单、成本低且抽真空与充入惰性气体的操作简单。
附图说明
图1为本实用新型非高温环境下等离子屏的真空排气装置的结构示意图。
图中:1-等离子屏上玻璃板,2-等离子屏下玻璃板,3-屏体排气管,4-导气管,5-通气阀门,6-充惰性气体阀门,7-真空测量仪表,8-真空泵主阀门,9-惰性气体瓶,10-真空泵,11-惰性气体连接管,12-封装排气管。
具体实施方式
结合附图对本实用新型做进一步的说明:
参见图1,本实施例非高温环境下等离子屏的真空排气装置包括屏体排气管3、导气管4、充惰性气体阀门6、真空泵主阀门8、惰性气体瓶9和真空泵10,所述惰性气体瓶9依次通过惰性气体连接管11和导气管4与所述屏体排气管3流体导通,所述真空泵10通过导气管4与所述屏体排气管3流体导通,所述惰性气体连接管11上安装有充惰性气体阀门6,所述惰性气体连接管11和所述导气管4的连接点与所述真空泵10之间的所述导气管4上安装有真空泵主阀门8。所述惰性气体连接管11和所述导气管4的连接点与所述屏体排气管3之间的所述导气管4上连通有封装排气管12,所述封装排气管12上装有一个通气阀门5。所述真空泵主阀门8与所述真空泵10之间的所述导气管4上安装有真空测量仪表7,所述惰性气体连接管11和所述导气管4的连接点与所述真空泵主阀门8之间的所述导气管4上也安装有真空测量仪表7。
本实施例非高温环境下等离子屏的真空排气装置的工作原理如下:等离子屏体的等离子屏上玻璃板1和等离子屏下玻璃板2四周用胶密封后,将所述屏体排气管3封接在等离子屏体上,关闭所述通气阀门5、所述充惰性气体阀门6和所述真空泵主阀门8,开动所述真空泵10,然后打开所述真空泵主阀门8,所述等离子屏上玻璃板1和所述等离子屏下玻璃板2之间的腔室内真空度满足要求之后,关闭所述真空泵主阀门8并且关闭所述真空泵10,打开所述充惰性气体阀门6,通过所述惰性气体瓶9向所述等离子屏上玻璃板1和所述等离子屏下玻璃板2之间的腔室内充入惰性气体(发光气体),保持2-4小时后将所述屏体排气管3与所述导气管4分离。
本实施例真空排气装置的结构简单、成本低且抽真空与充入惰性气体的操作简单。
上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型创造所作的举例,而并非对本实用新型创造具体实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所引伸出的任何显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造权利要求的保护范围之中。
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