[实用新型]非高温环境下等离子屏的真空排气装置有效
| 申请号： | 201220089520.0 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN202495413U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 李跃 | 申请（专利权）人： | 北京盛泉科技有限公司;李跃 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 王道川 |
| 地址： | 100142 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高温 环境 下等 离子 真空 排气装置 | ||
【权利要求书】：
1.非高温环境下等离子屏的真空排气装置，其特征在于，包括屏体排气管(3)、导气管(4)、充惰性气体阀门(6)、真空泵主阀门(8)、惰性气体瓶(9)和真空泵(10)，所述惰性气体瓶(9)依次通过惰性气体连接管(11)和导气管(4)与所述屏体排气管(3)流体导通，所述真空泵(10)通过导气管(4)与所述屏体排气管(3)流体导通，所述惰性气体连接管(11)上安装有充惰性气体阀门(6)，所述惰性气体连接管(11)和所述导气管(4)的连接点与所述真空泵(10)之间的所述导气管(4)上安装有真空泵主阀门(8)。
2.如权利要求1所述的非高温环境下等离子屏的真空排气装置，其特征在于，所述惰性气体连接管(11)和所述导气管(4)的连接点与所述屏体排气管(3)之间的所述导气管(4)上连通有封装排气管(12)，所述封装排气管(12)上装有一个通气阀门(5)。
3.如权利要求2所述的非高温环境下等离子屏的真空排气装置，其特征在于，所述真空泵主阀门(8)与所述真空泵(10)之间的所述导气管(4)上安装有真空测量仪表(7)，所述惰性气体连接管(11)和所述导气管(4)的连接点与所述真空泵主阀门(8)之间的所述导气管(4)上也安装有真空测量仪表(7)。
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