[发明专利]尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法有效
| 申请号： | 201210589383.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102976265A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 尚金堂;邹羽;吉宇 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 尺寸 可控 圆片级 玻璃 制备 方法 | ||
1.一种尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一步，在硅圆片（1）上刻蚀形成微型硅凹槽（2）阵列；
第二步，在上述微型硅凹槽（2）内，先后加入碳酸钠溶液和氯化钙溶液混合，获得碳酸钙(5) ，再蒸发去除水；
第三步，将玻璃圆片（3）与上述硅圆片（1）在真空或一定压力下粘结，使得微型硅凹槽（2）密封；
第四步，将上述玻璃圆片和硅圆片加热至玻璃软化点温度以上并保温，待微型凹槽(2)中碳酸钙（5）放出的气体产生正压力使得密封腔体对应的玻璃成型后，再冷却到常温，退火；
第五步，去除硅圆片（1），得到圆片级球形玻璃微腔（6）阵列。
2.根据权利要求1所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于玻璃圆片为硼硅玻璃圆片。
3.根据权利要求1所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于，第二步中所述的碳酸钠和氯化钙均为饱和溶液。
4.根据权利要求1所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于，在第二步中加入碳酸钠溶液和氯化钙溶液后，利用超声对其进行处理。
5.根据权利要求1所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于：所述微型凹槽（2）阵列之间有微通道（4）相连。
6.根据权利要求1所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于第二步采用点胶技术对微型凹槽（2）定量注入溶液。
7.根据权利要求1所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于，第三步所述的粘结方法为阳极键合，阳极键合条件为：电压600V,温度为400℃。
8. 根据权利要求1或2所述的尺寸可控的圆片级玻璃微腔制备方法，其特征在于，第四步中键合好的玻璃圆片和硅圆片的加热温度为820℃~890℃。
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