[发明专利]检测装置以及检测方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种薄膜缺陷检测方法，尤其是关于一种通过强化图像对比以检测薄膜缺陷的方法。

背景技术

传统上，应用于图像检测的椭偏增强对比方法，是找到图像全暗(null)的组态，让瑕疵区域与非瑕疵区域呈现一亮一暗的灰度图像，通过全暗的灰度强化出另一区域的图像对比。在操作上要旋转偏振片与检偏片的角度，让其中一个区域的灰度值逐渐降低达到最暗。一般而言，为了要达到图像全暗的组态，偏振片与检偏片需要轮流调整，并且不断检视相机灰度的变化情形，才能找出能达到图像全暗时，偏振片与检偏片的最佳角度。这一找寻全暗点的过程、极化组态的切换以及相机的灰度判读都要耗费时间。此外，光强度与元件旋转角度是三角函数，并且在低强度时灵敏度比较低，增加相机对于灰度值判读的难度，还增加系统对于图像全暗与最佳图像对比的找寻时间。

有鉴于此，需要一种新的方案，以解决上述问题。

发明内容

本发明所提供的检测装置与检测方法，舍弃了图像椭偏传统上需要搜寻图像全暗点来强化瑕疵的图像对比，而是利用两个不同组态的入射光，产生两组不同的图像来达成图像强化的目地。此外，本发明所提供的检测装置与检测方法也通过减少偏振元件的调校，并增强最佳图像的对比，以解决上述找寻最佳图像对比耗费太多时间的问题。

本发明提供一种检测装置，包括一光源模块、一图像接收模块以及一处理单元。光源模块发出一第一入射光以及一第二入射光至一待测物。图像接收模块接收该第一入射光照射到该待测物所产生的一第一图像，以及该第二入射光照射到该待测物所产生的一第二图像。处理单元计算该第一图像以及该第二图像的对比值，以得到用于检测的一高对比度图像。

本发明提供一种检测方法，包括通过一光源模块发出第一入射光以及第二入射光至一待测物；通过一图像接收模块接收第一入射光照射到待测物所产生的第一图像，以及第二入射光照射到待测物所产生的第二图像；以及通过一处理单元计算第一图像以及第二图像的对比值，以得到用于检测的一高对比度图像。

附图说明

图1为本发明的检测装置的示意图；

图2为本发明的实施例的示意图；

图3为本发明的另一实施例的示意图；

图4为本发明的另一实施例的示意图；

图5为本发明的成像方法的示意图；

图6为本发明所提供的检测装置的操作流程图。

【主要元件符号说明】

100～检测装置；

101～光源模块；

102～待测物；

103～图像接收模块；

104～处理单元；

201、405、408～光源；

202、406、409～极化片；

203、407、410～相位补偿片；

204～入射角度；

205、411、414～透镜；

206、413、416～检偏片；

207、413、416～感光元件；

401～第一待测区；

402～第二待测区；

403～第一子光源模块；

404～第二子光源模块；

405～第一图像接收模块；

406～第二图像接收模块；

S1～控制信号；

L1～第一入射光；

L2～第二入射光；

P1～第一图像；

P2～第二图像；

PF～高对比度图像；

P11～第一子图像；

P12～第二子图像；

P13～第三子图像；

P14～第四子图像。

具体实施方式

以下将详细讨论本发明各种实施例的装置及使用方法。然而值得注意的是，本发明所提供的许多可行的发明概念可实施在各种特定范围中。这些特定实施例仅用于举例说明本发明的装置及使用方法，但非用于限定本发明的范围。