[发明专利]检测装置以及检测方法

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

一光源模块，发出一第一入射光以及一第二入射光至一待测物；

一图像接收模块，接收该第一入射光照射到该待测物所产生的一第一图像以及该第二入射光照射到该待测物所产生的一第二图像；以及

一处理单元，用于计算该第一图像以及该第二图像的对比值，以得到用于检测的一高对比度图像。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该第一入射光的波长不同于该第二入射光的波长。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该第一入射光的入射角度不同于该第二入射光的入射角度。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该光源模块还包括一极化片以及一相位补偿片，该图像接收模块还包括一检偏片以及一感光元件，使得该第一入射光与该第二入射光穿过该极化片与该相位补偿片而至该待测物，并且该感光元件透过该检偏片取得该第一图像与该第二图像。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该光源模块还包括一极化片，该图像接收模块还包括一相位补偿片、一感光元件以及一检偏片，使得该第一入射光与该第二入射光穿过该极化片而至该待测物，并且该感光元件透过该相位补偿片与该检偏片取得该第一图像与该第二图像。

6.根据权利要求4或5所述的检测装置，其特征在于，该极化片和/或该相位补偿片和/或该检偏片的光轴角度不同，使得该第一入射光的偏振组态不同于该第二入射光的偏振组态。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该光源模块还包括一极化片以及一第一相位补偿片，该图像接收模块还包括一第二相位补偿片、一感光元件以及一检偏片，使得该第一入射光与该第二入射光穿过该极化片以及该第一相位补偿片而至该待测物，并且该感光元件透过该第二相位补偿片与该检偏片取得该第一图像与该第二图像。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，该极化片和/或该第一相位补偿片和/或第二相位补偿片和/或该检偏片的光轴角度不同，使得该第一入射光的偏振组态不同于该第二入射光的偏振组态。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该处理单元依据该高对比度图像的灰度，以判断该待测物是否具有缺陷。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该光源模块还包括一第一子光源模块与一第二子光源模块，分别发出该第一入射光以及该第二入射光至该待测物，并且该图像接收模块还包括一第一子图像接收模块与一第二子图像模块，分别接收该第一入射光照射到该待测物所产生的该第一图像以及该第二入射光照射到该待测物所产生的该第二图像。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，该第一子光源模块与该第二子光源模块同时分别发出该第一入射光以及该第二入射光至该待测物。

12.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，该第一子光源模块与该第二子光源模块还分别包括一极化片以及一相位补偿片，该第一子图像接收模块与该第二子图像模块还分别包括一检偏片以及一感光元件，使得该第一入射光与该第二入射光穿过该极化片与该相位补偿片而至该待测物，并且该感光元件透过该检偏片取得该第一图像与该第二图像，其中该极化片和/或该相位补偿片和/或该检偏片的光轴角度不同，使得该第一入射光的偏振组态不同于该第二入射光的偏振组态。