[发明专利]带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法及其设备

说明书

技术领域

本发明属于传感器检测方法的技术领域，具体涉及一种带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法及其设备。

背景技术

现有对带有真空参考腔的传感器的检漏方法通常采用氦质朴检漏仪，受氦质朴检漏仪检漏精度的限制，产品的检测准确性较低，存在漏检现象；只能单只产品检测，检测效率低。另外一种检测方法是将带有真空参考腔的传感器进行两个月存放，比较存放前后传感器的输出周期变化，该方法检测的准确率高，但工艺周期长，需要存放2个月或更长时间。

发明内容

本发明为了解决现有带真空参考腔传感器的检漏方法检测准确性低、存在漏检现象，或者只能对单只产品检测、检测效率低的问题。

本发明采用如下的技术方案实现：

带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法，具体步骤如下：

1）、对需检测的产品进行输出信号测量；

2）、将多只产品装入加压容器内，密封加压容器，加压容器预留管路和压力仪表、压力开关、氦气来源及真空泵连接；

3）、利用压力开关以及真空泵先将加压容器内的空气抽空，加压容器内压力低于50hPa；

4）、切断真空泵管路，连接氦气来源管路，将氦气充入加压容器内，压力保持在产品的测量上限至1.2倍的测量上限范围内；

5）、压力保持100-360小时；

6）、排空加压容器内的氦气，并多次充入空气并排空，使产品内部无氦气残留；

7）、在与步骤1）测量条件相同的条件下测量产品的输出信号；

8）、将加压前后的输出信号进行对比，差值趋于0，则真空腔不漏气，否则为真空腔漏气，通过计算确定真空腔的泄漏率。

所述的氦气来源可以置换为空气来源，其步骤4）的压力保持240-480小时。

本发明所述的可检测的产品不局限于传感器，也可应用于其他的带真空参考腔的产品。

带真空参考腔的传感器真空腔检漏设备，包括可放置若干待测产品的加压容器，加压容器上设置管路与氦气来源或空气来源、压力仪表、压力开关以及真空泵连接。

所述的压力开关为三通开关，三通开关的中间输出端连接加压容器和压力仪表，三通开关的另外两端分别连接真空泵以及氦气来源或空气来源。

本发明与现有存放2个月时间检测的方法相比，保留了对带有真空参考腔的传感器利用检测传感器输出周期变化判断泄漏状态方法的准确性，同时极大的缩短了检测周期，对相同泄漏率的传感器，氦气加高压法7-15天引起的传感器输出变化与2个月存放引起的传感器输出变化相同。

本发明与采用氦质朴检漏仪检漏的方法，克服了现有检漏方法受氦质朴检漏仪检漏精度的限制，产品的检测准确性较低，存在漏检现象；本发明不存在漏检现象，检测准确率高；另外克服了现有采用氦质朴检漏仪检漏的方法只能单只产品检测，检测效率低的问题；本发明可同时进行无数产品的氦气加压（视产品大小和加压罐的大小确定数量），极大的提高了生产效率。

本发明具有如下有益效果：

1、保留了产品输出信号比对的可靠性和准确性，检测准确率高；

2、缩短了工艺周期，并可同时进行无数只产品的氦气加压，极大的提高了生产效率，尤其适合于批量生产；

3、克服了氦质朴检漏仪检漏的不可靠性，提高了真空腔检漏的准确性和可靠性。

附图说明

图1为带真空参考腔的传感器真空腔检漏设备的系统示意图。

具体实施方式

带真空参考腔的传感器真空腔检漏设备，包括可放置若干待测产品的加压容器，加压容器上设置管路与氦气来源或空气来源、压力仪表、压力开关以及真空泵连接。所述的压力开关为三通开关，三通开关的中间输出端连接加压容器和压力仪表，三通开关的另外两端分别连接真空泵以及氦气来源或空气来源。另外加压容器也可以分别与真空泵以及氦气来源或空气来源连接，通过各自的阀件控制。

带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法，具体步骤如下：

1）、对需检测的产品进行输出信号测量；

2）、将多只产品装入加压容器内，密封加压容器，加压容器预留管路和压力仪表、压力开关、氦气来源及真空泵连接；

3）、利用压力开关以及真空泵先将加压容器内的空气抽空，加压容器内压力低于50hPa；

4）、切断真空泵管路，连接氦气来源管路，将氦气充入加压容器内，压力保持在产品的测量上限至1.2倍的测量上限范围内；

5）、压力保持100-360小时；