[发明专利]带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法及其设备

权利要求书

1.一种带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法，其特征在于具体步骤如下：

1）、对需检测的产品进行输出信号测量；

2）、将多只产品装入加压容器内，密封加压容器，加压容器预留管路和压力仪表、压力开关、氦气来源及真空泵连接；

3）、利用压力开关以及真空泵先将加压容器内的空气抽空，加压容器内压力低于50hPa；

4）、切断真空泵管路，连接氦气来源管路，将氦气充入加压容器内，压力保持在产品的测量上限至1.2倍的测量上限范围内；

5）、压力保持100-360小时；

6）、排空加压容器内的氦气，并多次充入空气并排空，使产品内部无氦气残留；

7）、在与步骤1）测量条件相同的条件下测量产品的输出信号；

8）、将加压前后的输出信号进行对比，差值趋于0，则真空腔不漏气，否则为真空腔漏气，通过计算确定真空腔的泄漏率。

2.根据权利要求1所述的带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法，其特征在于所述的氦气来源可以置换为空气来源，其步骤4）的压力保持240-480小时。

3.一种实现如权利要求1或2所述的带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法的检漏设备，其特征在于包括可放置若干待测产品的加压容器，加压容器上设置管路与氦气来源或空气来源、压力仪表、压力开关以及真空泵连接。

4.根据权利要求3所述的带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法的检漏设备，其特征在于压力开关为三通开关，三通开关的中间输出端连接加压容器和压力仪表，三通开关的另外两端分别连接真空泵以及氦气来源或空气来源。