[发明专利]制备太阳能电池的方法及所制成的太阳能电池

权利要求书

1.一种制备太阳能电池的方法，包括用于选择性发射极形成的扩散方法，所述扩散方法包括以下步骤：

执行第一驱动以将第一掺杂浆料中的掺杂原子仅驱入到晶片的预定区域中；

执行预氧化以在晶片表面上生成硅氧化物；

执行沉积以利用第二掺杂源在晶片表面上形成磷硅玻璃；以及

执行第二驱动以将所述磷硅玻璃中的掺杂原子驱入到晶片中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，执行第一驱动包括以预定图案将第一掺杂浆料印刷在晶片表面并将晶片保持在预设温度一定时段。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述预设温度在810-870摄氏度的范围内。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述一定时段在20-70分钟的范围内。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第一掺杂浆料通过丝网印刷技术被印刷到晶片表面上。

6.根据权利要求2所述的方法，其中所述预定图案为类似主栅线或细栅线的图案。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一掺杂浆料包括基于磷酸的可印刷浆料，并且所述掺杂原子为磷原子。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二掺杂源包括POCL3。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述第一驱动之前，稳定所述晶片放置于其中的扩散炉中的温度和气流。

10.一种根据权利要求1所述的方法制备的太阳能电池。