[发明专利]氧化锆基NOx传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化锆基NOx传感器，所述传感器包括：加热器、敏感体和Pt引脚；

其中，所述加热器是由氧化铝基片、加热体和绝缘层组成；所述敏感体设置在氧化铝绝缘层上，由Pt引线、氧化锆层和(La_xSr_1-x)MnO₃层组成，其中x=1～0。

2.根据权利要求1所述的氧化锆基NOx传感器，其特征在于，所述氧化铝基片的厚度为0.3～0.5mm。

3.根据权利要求1所述的氧化锆基NOx传感器，其特征在于，所述(La_xSr_1-x)MnO₃层的厚度为0.01～0.025mm。

4.根据权利要求1所述的氧化锆基NOx传感器，其特征在于，所述氧化锆层的厚度为0.01～0.1mm。

5.一种制备权利要求1-4任一项所述氧化锆基NOx传感器的方法，所述方法包括：

(1)提供第一和第二氧化铝基片；

(2)在第一氧化铝基片的表面上印刷Pt加热体；

(3)在第二氧化铝基片的表面上印刷第一和第二根Pt引线；

(4)将第一和第二氧化铝基片叠层共烧，提供加热器；

(5)在第一、第二Pt引线的一段上涂覆(La_xSr_1-x)MnO₃泥浆，烘干，并在1000～1200℃下烧结1～4小时；

(6)在(La_xSr_1-x)MnO₃的表面和一段氧化铝表面上涂覆氧化锆浆料，烘干，并在1000～1200℃下烧结1～4小时。

6.如权利要求5所述氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于，采用厚膜丝网印刷在第一氧化铝基片的表面上印刷Pt加热体。

7.如权利要求5所述氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于，所述第一、第二Pt引线的一段上的(La_xSr_1-x)MnO₃泥浆烘干后在1150～1250℃下烧结1～2小时。

8.如权利要求5所述氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于，所述氧化铝/(La_xSr_1-x)MnO₃的表面涂覆氧化锆浆料烘干后在1150～1250℃下烧结1～2小时。

9.如权利要求5所述氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于，所述(La_xSr_1-x)MnO₃是市售(La_xSr_1-x)MnO₃粉体或采用公知的固相合成方法制备。