[发明专利]传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人

权利要求书

1.一种传感器器件，其特征在于，具备：

第一部件，其具有凹部；

传感器元件，其配置于所述凹部，并具有压电体；以及

第二部件，其与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第二部件具有：

第一面区域，该第一面区域与所述传感器元件的所述接触面接触；和

第二面区域，该第二面区域与所述第一部件接合，

在所述第一面区域与所述第二面区域之间具备可挠部，该可挠部具有可挠性。

2.根据权利要求1所述的传感器器件，其特征在于，

所述可挠部的厚度比所述第二部件的其他部分的厚度薄。

3.根据权利要求1或2所述的传感器器件，其特征在于，

所述可挠部具有折皱构造。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的传感器器件，其特征在于，

在俯视观察所述第二部件时，所述可挠部为圆形形状、或者角为圆弧状的多边形形状。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的传感器器件，其特征在于，

在将所述传感器元件的所述接触面的法线方向设为γ轴方向、将与所述γ轴方向正交并且相互正交的方向分别设为α轴方向、β轴方向的情况下，

所述传感器元件具备检测所述α轴方向上的力的第一传感器元件、检测所述β轴方向上的力的第二传感器元件、以及检测所述γ轴向上的力的第三传感器元件中的任意一个以上。

6.一种传感器模块，其特征在于，具备：

传感器器件，该传感器器件具备：具有凹部的第一部件、配置于所述凹部并具有压电体的传感器元件、以及与所述第一部件接合并对所述第一部件的所述凹部进行密封的第二部件；

第一板，其与所述第一部件接触；

第二板，其与所述第二部件接触；以及

紧固部，其将所述第一板与所述第二板紧固，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第二部件具有：

第一面区域，该第一面区域与所述传感器元件的所述接触面接触；和

第二面区域，该第二面区域与所述第一部件接合，

在所述第一面区域与所述第二面区域之间具备可挠部，该可挠部具有可挠性。

7.一种力检测装置，其特征在于，

具备权利要求1~5中任一项所述的传感器器件。

8.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一部件，其具有凹部；

传感器元件，其配置于所述凹部，并具有压电体；

第二部件，其与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封；以及

电子电路，其与所述传感器元件电连接，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第二部件具有：

第一面区域，该第一面区域与所述传感器元件的所述接触面接触；和

第二面区域，该第二面区域与所述第一部件接合，

在所述第一面区域与所述第二面区域之间具备可挠部，该可挠部具有可挠性。

9.一种机器人，其特征在于，

具备权利要求8所述的力检测装置。

10.一种机器人，其特征在于，具备：

主体部；

与所述主体部连接的臂部；以及

与所述臂部连接的手部，

该机器人在所述臂部与所述手部的连接部具有传感器器件，

所述传感器器件具备：

第一部件，其具有凹部；

传感器元件，其配置于所述凹部，并具有压电体；以及

第二部件，其与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第二部件具有：

第一面区域，该第一面区域与所述传感器元件的所述接触面接触；和

第二面区域，该第二面区域与所述第一部件接合，

在所述第一面区域与所述第二面区域之间具备可挠部，该可挠部具有可挠性。