[发明专利]N型直拉单晶硅的制备方法无效
| 申请号： | 201210553674.5 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103014836A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 乔松;司佳勇;周浩;唐磊;尹东坡;郭凯 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 型直拉 单晶硅 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种N型直拉单晶硅的制备方法，等径过程包括等径初期，其特征在于，采用的工艺条件包括，在所述等径初期的平均拉速为1.2~1.6mm/min。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括，所述等径过程中的晶转为8~12rpm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括，所述等径过程中的埚转为5~8rpm。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括，所述等径过程中的氩气流量为40~70L/min。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括，所述等径过程中的氩气的压力为15~20torr。
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