[发明专利]一种形成钻石膜的成核方法

权利要求书

1.一种在钻石膜成长过程中的成核方法，其特征为：

提供一钻石膜成核的一基材；

溶解一钻类烷于一黏着溶剂内以形成一混合溶液；

浸润至该基材于该混合溶液内，其中该钻类烷经由该黏着溶剂附着在该基材上；

提供一具有密闭的空间的一反应器，其中该反应器的能进行一等离子化学气相沉积技术；

放入基材于该反应器内；以及

成长一钻石膜于该在基材上。

2.如权利要求1所述的方法，其特征为其中该黏着溶剂是由乙二醇与二伸乙甘醇群组中所选出。

3.如权利要求1所述的方法，其特征为其中该钻类烷是由金刚烷、双金刚烷、三金刚烷、四金刚烷、戊金刚烷、环己金刚烷、癸金刚烷、同分异构物与其衍生物群组中所选出。

4.如权利要求1所述的方法，其特征为其中浸润至该基材于该混合溶液的步骤包含进行浸润涂布程序。

5.如权利要求1所述的方法，其特征为其中该钻类烷与该黏着溶剂之间重量百分比的比率包含由10至100。

6.如权利要求1所述的方法，其特征为其中该基材由Si、AlN、TiN、GaN、TiC以及蓝宝石群组中所选出。

7.一种钻石膜的成核方法，其特征为：

提供一钻石膜成核的一基材：

溶解一钻类烷在一黏着溶剂内以形成一混合溶液；以及

浸润至该基材于该混合溶液内，其中该钻类烷经由该黏着溶剂附着在该基材上。

8.如权利要求7所述的方法，其特征为其中该黏着溶剂是由乙二醇以及二乙二醇群组中所选出。

9.如权利要求7所述的方法，其特征为其中该钻类烷是由金刚烷、双金刚烷、三金刚烷、四金刚烷、戊金刚烷、环己金刚烷、癸金刚烷、同分异构物以及其衍生物群组中所选出。

10.如权利要求7所述的方法，其特征为其中插入该基材于混合溶液的步骤包含进行浸润涂布程序。