[发明专利]一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法

说明书

技术领域：

本发明涉及红外焦平面阵列与读出电路的倒焊互连领域。实现了焦平面铟柱阵列高度统计的自动化，解决了人工统计存在的数据不完整性问题。

背景技术：

红外焦平面探测器日益向着大面阵方向发展，这使得作为大面阵焦平面器件关键技术的倒焊互连的难度大大增加，而铟柱的质量最终决定了倒焊互连能否高质量地完成。目前铟柱高度的检测一般采用显微照片观察及随机取样计算平均值的方法。此两类方法有一定的局限性。由于铟柱表面并不是理想的平面，显微照片观察很难获得铟柱的具体数值及其分布，随机取样测量不能获得完整的铟柱高度数据分布，且容易引入人工定标的误差。

本发明独创性地对激光共聚焦获得的焦平面表面形貌数据进行处理分析，具体指计算红外焦平面上铟柱的高度分布。本发明可以获得并获得了大量铟柱的真实高度值及其统计分布，对红外焦平面器件的倒焊互连工艺的发展有很大作用。

发明内容：

1，发明目的：统计焦平面器件表面铟柱的高度及其分布。

2，技术方案：

本发明的具体步骤如下：

步骤一：利用激光共聚焦显微镜对焦平面表面进行扫描，获取并保存焦平面表面高度形貌数据矩阵Z=[z_ij]，其中z_ij指坐标位于x=i,y＝j处的高度数据，i，j的取值范围是[1,n]，n为采样密度，取值512或1024；

步骤二：生成高度数据矩阵Z对应的横坐标矩阵X＝[x_ij]，纵坐标矩阵Y＝[y_ij]，其中，矩阵元素满足x_ij＝j，y_ij=i；

步骤三：求出高度数据矩阵Z中元素的最大值z_max=max(z_ij)，最小值z_min=min(z_ij)，以指定的间隔Δz生成向量S＝[s_h]，满足s_h=z_min+(h-1)·Δz，其中间隔Δz设为0.1，h取整数1，2……|(z_max-z_min)/Δz|；

步骤四：求解等高线坐标矩阵C_sh

C_sh=contour(Z,[s_h s_h])                (1)

式中，contour()为Matlab7.0中的函数，等高线坐标矩阵C_sh具体表达式为：