[发明专利]电光调制器及其制造方法

权利要求书

1.一种电光调制器，其包括一个基底及一个Y型光波导；该基底包括一个顶面；该对Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个分支；该基底在该顶面上、位于该两个分支之间向该基底内部形成有一个间隔开该两个分支的第一凹槽。

2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。

3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第一凹槽的深度大于该Y型光波导的深度。

4.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该Y型光波导包括一个入射段及一个出射段；该两个分支从该入射段分出，并重新汇聚入该出射段；该两个分支包括一个主分支及一个调制分支；该主分支与该入射段及该出射段形成直线的传输通道；该调制分支与该主分支平行；该Y型光波导还包括一个入射分叉及一个出射分叉；该入射分叉与该主分支自该入射段分叉并与该调制分支连接；该出射分叉与该主分支汇聚交叉入该出射段，并与该调制分支连结；该出射分叉与该主分支之间的夹角一般与该入射分叉与该主分支之间的夹角相同。

5.如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括一对调制电极；该对调制电极分别设置于该调制分支两侧。

6.如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该基底在该顶面上、位于该调制分支与该第一凹槽相背一侧向该基底内部还形成有一个第二凹槽该第二凹槽与该第一凹槽关于该调制分支的中心线对称该对调制电极分别设置于该第一凹槽及该第二凹槽内，且均包括一个垂直于该顶面的片状部分；该片状部分的高度大于该第一凹槽及第二凹槽的高度。

7.一种电光调制器的制造方法，其包括：

提供一个基底，该基底包括一个顶面；

在该顶面上向该基底内部形成一个第一凹槽；及

在该顶面上向该基底内部扩散形成一个Y型光波导，该Y型光波导包括两个分别位于该第一凹槽两侧的分支。

8.如权利要求7所述的电光调制器的制造方法，其特征在于，该第一凹槽用氢氟酸湿式蚀刻的方式形成。

9.如权利要求7所述的电光调制器的制造方法，其特征在于，该Y型光波导通过以下步骤形成：

将700纳米左右的钛金属膜镀于该顶面；及

利用1020摄氏度左右的高温将钛金属扩散入该基底。