[发明专利]发光器件制备方法及发光器件

说明书

技术领域

本发明属于发光结构领域，尤其涉及一种发光器件制备方法及发光器件。

背景技术

温室效应、能源危机以及生态环境日益恶化等问题已引起人们的高度警觉，改善人们的能源获取方式及其利用效率已达成全球共识。照明耗能是能源消耗的重要组成部分，照明节能问题已成为政府、企业及科研人员必须面对的棘手问题。目前研究证实，金属纳米结构在电子束或光照下激发的表面等离子体共振效应能产生特殊的光学性质，有效利用金属纳米结构激发的表面等离子体激元是提高发光材料的发光效率及太阳能电池光吸收效率的有效途径。随着微电子技术及纳米加工技术的发展，特别是半导体白光照明的兴起及金属纳米结构增强发光研究的深入，研制用于白光增强的金属纳米结构越来越受到重视。

但目前采用自组装方式制备的金属纳米结构在形状大小上不可控，而采用化学方法很难控制这些形成的金属纳米结构按一定规则排列从而影响发光增强。

发明内容

本发明的目的在于提供一种发光器件制备方法，解决现有技术中金属纳米颗粒不规则排列的问题；及发光器件。

本发明是这样实现的，

一种发光器件，包括基板、层叠于该基板上的发光层，还包括形成于该发光层的金属纳米凸起，该金属纳米凸起相隔分布，该金属纳米凸起呈圆柱体状、四方体状及四棱锥体状。

以及，

一种发光器件制备方法，包括如下步骤：

提供覆盖有发光层的基板；

通过曝光、显影、蚀刻及物理沉积法在该发光层上形成相隔分布的圆柱体及四方体；

通过曝光、显影及化学合成法在该发光层上形成四邻椎体，使该四棱锥体与该圆柱体、四方体相隔分布，得到该发光器件。

本发明发光器件制备方法，通过曝光、显影等步骤，实现发光层上的金属纳米凸起能够有规则的分布，克服了现有技术所制备的纳米凸起难以实现规则分布的技术问题，使得发光器件的发光效率得到显著提升。本发明发光器器件，由于四方体、圆柱体及四棱锥体之间规则分布，克服了现有技术所制备的纳米凸起难以实现规则分布的技术问题，由于圆柱体凸起、四方体凸起及四棱锥体凸起能够分别增强红、绿、蓝、三种不同颜色的发光材料的光致激发发光，从而使得发光器件的白光发光效率得到显著提升。

附图说明

图1是本发明实施例一步骤4得到的器件结构图；

图2是本发明实施例一步骤6得到的器件结构图；

图3是本发明实施例一步骤7得到的器件结构图；

图4是本发明实施例一得到的发光器件结构图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例提供一种发光器件，该发光器件包括基板、层叠于该基板上的发光层，还包括形成于该发光层的金属纳米凸起，该金属纳米凸起相隔分布，该金属纳米凸起呈圆柱体状、四方体状及四棱锥体状。

该金属纳米凸起的材质为银，包括圆柱体型金属纳米凸起、四方体型金属纳米凸起及四棱锥体型金属纳米凸起，该圆柱体的高度为50纳米；该四方体的高度为40纳米；该四棱锥体的高度为45纳米。该四方体例如，正方体、长方体等。

具体的，该圆柱体、四方体及四棱锥体在发光层上规则分布，优选的，该圆柱体、四方体在相对于该基板的纵向上交替分布；该四方体、四棱锥体在相对于该基板的横向上交替分布。同时，其他的排列方式，也在本发明的思想范围内。

本发明实施例发光器器件，由于四方体、圆柱体及四棱锥体之间规则分布，克服了现有技术所制备的纳米凸起难以实现规则分布的技术问题，由于圆柱体凸起、四方体凸起及四棱锥体凸起能够分别增强红、绿、蓝、三种不同颜色的发光材料的光致激发发光，从而使得发光器件的白光发光效率得到显著提升。

本发明实施例还提供一种发光器件制备方法，包括如下步骤：

步骤S01，提供覆盖有发光层的基板；

步骤S02，制备圆柱体及四方体；

通过曝光、显影、蚀刻及物理沉积法在所述发光层上形成相隔分布的圆柱体及四方体；

步骤S03，制备四棱锥体；

通过曝光、显影及化学合成法在所述发光层上形成四邻椎体，使所述四棱锥体与所述圆柱体、四方体相隔分布，得到所述发光器件。

步骤S01中，该基板为玻璃基板，或本领域中常用的其他基板。将基板放到苯酚溶液中，超声15分钟，然后用去离子水冲洗，对该基板进行清洗。