[发明专利]接触膜及其制造方法以及探针单元和LCD面板检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及接触膜、所述接触膜的制造方法、探针单元及LCD面板检测装置，特别是凸点的断面与填充于通孔中的导体的断面相同的接触膜，安装有所述接触膜的探针单元，使用所述探针单元的LCD面板检测装置以及所述接触膜的制造方法。

背景技术

在设有具有多个端子的电气部件或电子部件的PCB（Printed CircuitBoard）的制造过程的最后步骤中，为了防止不良制品的出库，检测电子部件之间、电子部件与PCB之间的电连接及电特性。在检测工序中使用与所述电子部件和所述PCB电连接的探针，探针成为将作为检测对象的被检测物与测定装置电连接的介质。

探针的形态是根据成为检测对象的电子部件或PCB的形态而决定，普遍使用凸点（bump），所述凸点不仅与对于检测的被检测物的电接触的可靠性相关，而且还与图案的微细化、电极的数量、电极与电极之间的间距（pitch）的微小化相关。

特别是，对于检测LCD面板的电连接和电特性的探针单元，使用在基础膜上设有凸点的接触膜。

发明内容

本发明所要解决的技术课题是提供包括形成于基础膜的通孔和凸点的接触膜。

本发明所要解决的另一技术课题是提供使用所述接触膜的探针单元。

本发明所要解决的又一技术课题是提供使用所述探针单元的LCD面板检测用装置。

本发明所要解决的又一技术课题是提供制造所述接触膜的接触膜制造方法。

根据用于实现所述技术课题的本发明的一实施方式的接触膜包括基础膜、导体、凸点和导线。所述基础膜包含多个通孔。所述导体填充在所述通孔中。所述凸点是在所述基础膜的一面露出的所述导体。所述导线与所述基础膜的另一面的所述导体电连接。所述凸点的断面与填充在通孔中的导体的断面相同。

根据用于实现所述另一技术课题的本发明的一实施方式的探针单元安装有所述接触膜。

根据用于实现所述又一技术课题的本发明一实施方式的LCD面板检测装置利用所述探针单元。

根据用于实现所述又一技术课题的本发明的一方面的接触膜制造方法包括：通孔形成步骤、导体填充步骤和凸点形成步骤。所述通孔形成步骤中，在基础膜上形成多个通孔。所述导体填充步骤中，在各个所述多个通孔中填充导体。所述凸点形成步骤中，将所述基础膜蚀刻成一定厚度，从而使填充于所述通孔的导体向所述基础膜的外部露出一定长度而形成凸点。

根据用于实现所述又一技术课题的本发明的另一方面的接触膜制造方法包括：形成贯通基础膜的两面的多个第一通孔的基础膜通孔形成步骤；在多个所述第一通孔中填充导体的第一通孔填充步骤；在基础膜的一面涂布光敏电阻的光敏电阻涂布步骤；形成多个第二通孔的光敏电阻通孔形成步骤，所述第二通孔与所述第一通孔形态相同且贯通所述光敏电阻而到达所述第一通孔；在所述多个第二通孔中填充导体的第二通孔填充步骤；以及除去所述光敏电阻，从而形成向所述基础膜的外部露出一定长度的凸点的凸点形成步骤。

根据用于实现所述又一技术课题的本发明的又一方面的接触膜制造方法包括：光敏电阻涂布步骤、通孔形成步骤、导体填充步骤和凸点形成步骤。所述光敏电阻涂布步骤中，在基础膜的一面以一定厚度涂布（deposition）光敏电阻。所述通孔形成步骤中，形成同时贯通所述基础膜和所述光敏电阻的两面的多个通孔。所述导体填充步骤中，在各个所述多个通孔中填充导体。所述凸点形成步骤中，将形成于所述基础膜的一面的光敏电阻除去，从而形成向所述基础膜外部露出一定长度的凸点。

使用根据本发明的接触膜的情况下，

1．导线不直接露出在与检测对象之间的接触面，基础膜保护导线免受与检测对象之间的接触面的杂质的影响，从而可延长寿命。

2．填充于通孔的导体起到凸点的支撑杆的作用，从而可提高凸点的强度。

3．在基础膜的两面分别形成导线和凸点，从而在提高凸点高度方面没有限制。

4．由于不是在导线上形成凸点，所以对于提高导线的厚度没有限制。

附图说明

图1是根据本发明的接触膜制造方法的一实施方式。

图2是根据本发明的接触膜制造方法的另一实施方式。

图3是根据本发明的接触膜制造方法的又一实施方式。

图4是根据本发明的接触膜的剖视图。

图5是根据本发明的一实施方式的接触膜的立体图。

图6是根据本发明的另一实施方式的接触膜的立体图。

附图标记说明

110：基础膜       111：通孔