[发明专利]接触膜及其制造方法以及探针单元和LCD面板检测装置

权利要求书

1.一种接触膜，其特征在于，该接触膜包括：

包含多个通孔的基础膜；

填充在所述通孔中的导体；以及

在所述基础膜一面露出的作为所述导体的一部分的凸点；

与所述基础膜另一面的所述导体电连接的导线；

所述凸点的断面与填充在通孔中的导体的断面相同。

2.根据权利要求1所述的接触膜，其中，所述基础膜是高分子聚合物挠性膜，所述高分子聚合物是选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、液晶聚合物或聚酰亚胺中的一种。

3.安装有权利要求2所述的接触膜的探针单元。

4.利用权利要求3所述的探针单元的LCD面板检测装置。

5.一种接触膜制造方法，其特征在于，该方法包括：

在基础膜上形成多个通孔的通孔形成步骤；

在各个所述多个通孔中填充导体的导体填充步骤；以及

将所述基础膜蚀刻成一定厚度，从而使填充在所述通孔中的导体向所述基础膜的外部露出一定长度而形成凸点的凸点形成步骤。

6.一种接触膜制造方法，其特征在于，该方法包括：

形成贯通基础膜的两面的多个第一通孔的基础膜通孔形成步骤；

在多个所述第一通孔中填充导体的第一通孔填充步骤；

在基础膜的一面涂布光敏电阻的光敏电阻涂布步骤；

形成多个第二通孔的光敏电阻通孔形成步骤，所述第二通孔与所述第一通孔形态相同且贯通所述光敏电阻而到达所述第一通孔；

在所述多个第二通孔中填充导体的第二通孔填充步骤；以及

剥离所述光敏电阻，从而形成向所述基础膜的外部露出一定长度的凸点的凸点形成步骤。

7.一种接触膜制造方法，其特征在于，该方法包括：

在基础膜的一面涂布光敏电阻的光敏电阻涂布步骤；

形成同时贯通所述基础膜和所述光敏电阻的两面的多个通孔的通孔形成步骤；

在各个所述多个通孔中填充导体的导体填充步骤；以及

将形成于所述基础膜的一面的光敏电阻剥离，从而形成向所述基础膜的外部露出一定长度的凸点的凸点形成步骤。