[发明专利]一种液体喷洒回收装置

权利要求书

1.一种液体喷洒回收装置，其特征在于：包括内层防护罩（1A）、外层防护罩（1B）、晶片检测器（3）、支撑台（4）、支撑板（7）、升降气缸（8）、伸缩气缸（9）、底板（11）及主轴电机（12），其中支撑板（7）及伸缩气缸（9）分别位于底板（11）的下方、并分别连接于底板（11）上，所述主轴电机（12）连接于伸缩气缸（9）的输出端，主轴电机（12）的输出端由所述底板（11）穿过、连接有放置晶片（2）的支撑台（4），该放置晶片（2）的支撑台（4）由主轴电机（12）驱动旋转、并随主轴电机（12）通过伸缩气缸（9）驱动升降；所述内层防护罩（1A）及外层防护罩（1B）由内向外依次设在支撑台（4）的外围，外层防护罩（1B）安装在所述底板（11）上，内层防护罩（1A）与安装在支撑板（7）上的升降气缸（8）的输出端相连，通过升降气缸（8）驱动升降；所述内层防护罩（1A）及外层防护罩（1B）的顶部均开有供支撑台（4）升降的孔，在外层防护罩（1B）上孔的边缘设有检测晶片（2）位置的晶片检测器（3）。

2.按权利要求1所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述主轴电机（12）的输出端上安装有排气环（5），该排气环（5）上沿轴向设有向内层防护罩（1A）内部腔体吹出气体的气孔，所述气孔与气源相连通。

3.按权利要求2所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述气孔为至少两个，每个气孔均与气源相连通；由所述气孔吹出的清洁干燥气体通过主轴电机（12）与底板（11）之间的间隙进入内层防护罩（1A）内部腔体。

4.按权利要求1或2所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述晶片检测器（3）上设有向晶片检测器（3）顶部吹出气体的气管（10），该气管（10）的一端与气源相连通，另一端向晶片检测器（3）的顶部弯折。

5.按权利要求1或2所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述外层防护罩（1B）上孔的边缘设有一对对称设置的晶片检测器（3），两个晶片检测器（3）之间的连接经过所述孔及晶片（2）的圆心。

6.按权利要求1或2所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述内层防护罩（1A）及外层防护罩（1B）的顶部均为锥台形，内部中空，内层防护罩（1A）、外层防护罩（1B）、支撑台（4）及主轴电机（12）同心设置。

7.按权利要求1或2所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述支撑台（4）的边缘沿周向均布有多个定位晶片（2）的挡柱。

8.按权利要求1或2所述液体喷洒回收装置，其特征在于：所述内层防护罩（1A）通过导柱（6）与升降气缸（8）的输出端相连。