[发明专利]线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人

说明书

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。

背景技术

传统上，已知存在这样一种机器人，该机器人通过使用设置在臂的末端操作单元中的手来用于保持和搬运在液晶显示器中使用的诸如玻璃基板的基板。该机器人通常为所谓的多轴机器人，在该多轴机器人中，臂和手沿着线性运动轴移动或者绕旋转轴运动。

例如，日本专利申请公报No.JP11-77566公开了一种基板搬运机器人，该基板搬运机器人包括：第一臂，该第一臂相对于能够竖直移动的基座的线性运动轴以可旋转的方式被支承；第二臂，该第二臂相对于第一臂以可旋转的方式被支承；以及手，该手相对于第二臂以可旋转的方式被附装。

通常的是，将诸如导轨之类的引导构件用作线性运动轴。在下列说明中，为了便于说明，线性运动轴有时将被称作“导轨”。

近年来，液晶显示器的尺寸趋于变得更大并且基板的重量变得更重。因此，施加到包括在机器人中使用的导轨的线性运动机构上的负荷增大并且导轨可能失准。这带来的问题是有时不能获得期望的操作精度。

发明内容

鉴于前述，本文公开的实施方式提供一种能够以提高的精度操作的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。

根据本发明的一个方面，提供了一种线性运动机构，该线性运动机构包括：基部；引导构件，该引导构件附装到所述基部；以及滑动件，该滑动件设置成沿着所述引导构件的轴向方向滑动，其中，所述引导构件由引导件紧固构件沿大致正交于所述轴向方向的指定紧固方向紧固到所述基部，并且由引导件按压构件沿大致正交于所述轴向方向和所述紧固方向两者的正交方向按压。

通过本文所公开的实施方式的一个方面，可以提供一种能够以提高的精度操作的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。

附图说明

图1是示出根据第一实施方式的机器人的示意性立体图。

图2是示出安装在真空室内的机器人的示意性侧视图。

图3A是示出主体单元的示意性平面图。

图3B是沿着图3A中的线3B-3B剖取的剖视图。

图4A是沿着图3B中的线4A-4A剖取的剖视图。

图4B是示出传统的滑动接触单元的放大图。

图4C是由图4B中的G2示出的区域的放大图。

图4D是示出根据第一实施方式的滑动接触单元的放大图。

图5是示出根据第二实施方式的线性运动机构的主要部分的示意图。

图6是示出根据第三实施方式的线性运动机构的说明图。

具体实施方式

现在将参照构成本发明的一部分的附图来描述线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人的实施方式。本公开内容不局限于以下待描述的实施方式。

在下述说明中，诸如玻璃基板之类的薄板状基板将被称为“工件”。将以用于在真空室内搬运工件的机器人为例进行说明。

（第一实施方式）

首先，将参照图1描述根据第一实施方式的机器人的构造。图1是示出根据第一实施方式的机器人1的示意性立体图。

为了更容易理解该说明，在图1中示出了三维直角坐标系，该三维直角坐标系包括Z轴，该Z轴的竖直上侧为正向侧，该Z轴的竖直下侧为负向侧。沿着XY平面延伸的方向表示水平方向。在一些情况下，上述直角坐标系在用于下列说明的其它图中被示出。

在下列说明中，在一些情况下，多个部件中的仅一个部件被标以附图标记，而其余部件不赋予附图标记。在该情况下，标以附图标记的一个部件与其余部件具有相同的构造。

如图1所示，机器人1是包含两个可伸缩的臂单元的多轴机器人，所述两个可伸缩的臂单元能够沿水平方向伸展和收缩。更具体地，机器人1包括主体单元10和臂单元20。

主体单元10是设置在臂单元20下方的单元。主体单元10包括管状壳体11和布置在该壳体11内的线性运动机构。主体单元10利用线性运动机构使臂单元20上下移动。

更具体地，线性运动机构沿着竖直方向线性地移动主体单元10的升降凸缘单元15，由此升起和降下固定到升降凸缘单元15的臂单元20。稍后将针对图3A描述线性运动机构的细节。

在壳体11的上部中形成有凸缘部12。机器人1借助将凸缘部12固定到真空室而被安装在真空室中。关于该点，稍后将针对图2进行说明。

臂单元20是借助升降凸缘单元15连接到主体单元10的单元。更具体地，臂单元20包括臂基座21、第一臂22、第二臂23、手基座24和辅助臂25。