[发明专利]用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器

权利要求书

1.一种装置，包括：

蜂巢状锥形加热器，包括：

具有外边缘的灯罩，其中所述外边缘形成部分圆，所述灯罩包括从所述灯罩的顶面延伸至底面的开口，并且所述开口从所述外边缘延伸至所述灯罩的中心区域；以及

遍及所述灯罩分布的多个灯，所述多个灯被配置为将光发出至所述灯罩的所述顶面之外。

2.如权利要求1所述的装置，进一步包括：

穿过所述灯罩的所述中心区域的轴；以及

位于所述轴上方且与所述轴相连的基座，其中所述轴和所述基座被配置为旋转。

3.如权利要求2所述的装置，进一步包括设置在所述开口中的聚光灯，其中所述聚光灯被配置为为所述基座上放置的晶圆的一个区域提供的热量比为所述晶圆的其余区域提供的热量多。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述灯罩包括：

面向所述开口的第一边缘和第二边缘；

通过所述第一边缘连接到所述多个灯之间的空间的第一管道；以及

通过所述第二边缘连接到所述空间的第二管道，其中，所述第一管道和所述第二管道被配置为引导冷却剂流过所述空间。

5.一种装置，包括：

蜂巢状锥形加热器，包括：

具有外边缘的灯罩，其中，所述外边缘形成部分圆，所述灯罩包括从所述灯罩的顶面延伸至底面的开口，所述开口进一步从所述外边缘延伸至所述灯罩的中心区域；

面向所述开口的第一边缘和第二边缘，其中，所述第一边缘和所述第二边缘中的每一个都从所述灯罩的所述顶面延伸至所述底面以及从该圆的所述外边缘延伸至所述中心区域；和

遍及所述灯罩分布的多个灯；

穿过所述灯罩的所述中心区域的轴；以及

位于所述轴上方且与所述轴相连的基座，其中，所述轴和所述基座被配置为沿着所述轴的轴线旋转。

6.如权利要求5所述的装置，其中，所述第一边缘和所述第二边缘基本为直线，并且形成大约45度和大约135度之间的角。

7.如权利要求5所述的装置，其中，所述开口占据了由所述外边缘限定的完整圆面积的八分之一到八分之三。

8.一种装置，包括：

蜂巢状锥形加热器，包括：

包括顶面和底面的灯罩，其中，所述顶面的第一部分比所述顶面的第二部分距所述灯罩的中心区域远，其中，所述第一部分和所述第二部分均不共面；和

遍及所述灯罩分布的多个灯；

穿过所述灯罩的所述中心区域的轴；以及

位于所述轴和所述灯罩上方的基座，其中，所述轴和所述基座互相连接。

9.如权利要求8所述的装置，其中，所述灯罩的顶面的第二部分比所述灯罩的顶面的第一部分高。

10.如权利要求8所述的装置，其中，所述灯罩的顶面的第一部分和第二部分中的每一个均共面，并且所述第一部分和所述第二部分形成阶梯。