[发明专利]一种键合强度测量装置无效
| 申请号： | 201210409603.8 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN102914497A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 褚志斌;李寿胜;周锐 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 强度 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种键合强度测量装置，其特征在于包括一个底座（5），底座（5）上设有立柱（4），立柱（4）上端设有螺孔，立柱（4）上面设置一个承片台（3），承片台（3）设置的螺杆（3a）与立柱（4）上端的螺孔连接配合，承片台（3）上面设有吸附管壳的磁铁（2）。
2.根据权利要求1所述的一种键合强度测量装置，其特征在于：磁铁（2）镶嵌在承片台（3）上端面的凹槽中，并且磁铁的上表面低于承片台（3）上端面。
3.根据权利要求1或2所述的一种键合强度测量装置，其特征在于：所述承片台（3）为矩形或圆形。
4.根据权利要求3所述的一种键合强度测量装置，其特征在于：所述承片台（3）为铝质材料制成。
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