[发明专利]等离子显示屏剥离液及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种剥离液，包括式I所示季铵氢氧化物、式II所示酰胺化合物、有机溶剂、防腐剂和水，

式I

式II

所述式I中，R₁、R₂和R₃均选自C1-C5的烷基和C1-C5的羟烷基中的任意一种；

所述式II中，R₁和R₂均选自H、CH₃和C₂H₅中的任意一种。

2.根据权利要求1所述的剥离液，其特征在于：所述剥离液由式I所示季铵氢氧化物、式II所示酰胺化合物、有机溶剂、防腐剂和水组成。

3.根据权利要求1或2所述的剥离液，其特征在于：所述式I所示季铵氢氧化物选自氢氧化三甲基烯丙基铵、氢氧化（1-羟基乙基）二甲基烯丙基铵、氢氧化（1，2-二羟基乙基）一甲基烯丙基铵、氢氧化三乙基烯丙基铵、氢氧化一甲基二乙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一乙基烯丙基铵、氢氧化（1-羟基乙基）二乙基烯丙基铵、氢氧化（1，2-二羟基乙基）一乙基烯丙基铵、氢氧化（1-羟基丙基）二乙基烯丙基铵、氢氧化三丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化（1-羟基乙基）二丙基烯丙基铵、氢氧化（1，2-二羟基乙基）一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、氢氧化（1-羟基丙基）二丙基烯丙基铵、氢氧化（1，2-羟基丙基）一丙基烯丙基铵和氢氧化三丁基烯丙基铵中的至少一种；

所述式II所示酰胺化合物选自6-氟-3-氧代-3,4-二氢吡嗪-2-甲酰胺、6-氟-N-甲基-3-氧代-3,4-二氢吡嗪-2-甲酰胺、6-氟-N-乙基-3-氧代-3,4-二氢吡嗪-2-甲酰胺、6-氟-N，N-甲基-3-氧代-3,4-二氢吡嗪-2-甲酰胺和6-氟-N，N-乙甲基-3-氧代-3,4-二氢吡嗪-2-甲酰胺中的至少一种；

所述有机溶剂为二元醇类水溶性有机溶剂，具体选自乙二醇、一缩二乙二醇和丙二醇中的至少一种；

所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、1-硫甘油、2-巯基乙醇、邻苯二酚、没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种；

所述水为去离子水，具体为为电子级去离子水，在25℃的电阻率至少为18兆欧，总金属离子浓度不大于5000ug/L，具体为500ug/L，更具体为50ug/L。

4.根据权利要求1-3任一所述的剥离液，其特征在于：所述剥离液中，各组分所占质量百分比分别为：

所述式I所示季铵氢氧化物：1-15%，具体为2-10%；

所述式II所示酰胺化合物：1-10%，具体为2-5%；

所述有机溶剂：5-25%，具体为5-10%；

所述防腐剂：0.01-2%，具体为0.5%；

所述去离子水为余量。

5.一种制备权利要求1-4任一所述剥离液的方法，包括如下步骤：将权利要求1-4任一所述各组分混匀，得到所述剥离液。

6.权利要求1-4任一所述剥离液在剥离光致抗蚀剂中的应用。

7.根据权利要求6所述的应用，其特征在于：所述剥离步骤中，剥离方法为浸渍法或喷淋法，温度为20-80℃，具体为40-60℃，时间为1分钟-20分钟，具体为3分钟-15分钟。