[发明专利]一种制绒深度稳定的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种多晶太阳能电池的制造工艺，具体涉及一种制绒深度稳定的方法。

背景技术

现在的多晶太阳能电池制造工艺中，制绒工艺是关键的一步，制绒的好坏直接关系着电池片的外观和性能。制绒深度的稳定是后段工序的基础，如果制绒深度不稳定，会影响扩散方阻的片内均匀性和方阻波动；还会导致镀膜膜厚波动较大，偏薄发红或偏厚发白，影响电池片的外观，并且制绒波动较大，绒面和烧结温度不匹配，会导致电池片烧结后出现铝包，所以控制制绒深度的稳定至关重要，制绒深度的稳定是后续工序做好的基础。

多晶硅片制绒采用酸腐蚀，酸腐蚀液为HF、HNO₃和去离子水按一定比例混合而成，其中HNO₃为强氧化剂，在反应中提供反应所需要的空穴；HF 的作用是与反应的中间产物SiO₂反应生成络合物H₂SiF₆以促进反应进行；水对反应起缓冲作用；反应中还会生成少量HNO₂，它能促进反应的发生，因此这是一种自催化反应, HNO₂的量达到饱和后反应的速率会非常稳定。

由于HF、HNO3和去离子水的混合液发生了多种配比的化学反应，如下：

Si+2HNO₃+6HF=H₂SiF₆+2HNO₂+2H₂O                   （1）

3Si+4HNO₃+18HF=3H₂SiF₆+4NO+8H₂O                  （2）

3Si+2HNO₃+18HF=3H₂SiF₆+2NO+4H₂O+3H₂               （3）

5Si+6HNO₃+30HF=5H₂SiF₆+2NO₂+4NO+10H₂O+3H₂          （4）

过程的中间产物HNO₂起到自催化作用，如果生产过程中不能保持稳定的话，会影响到整个反应，制绒深度波动较大。

RENA新型NIAK机台溶液由溶液罐循环进制绒槽的过程中，由于循环是层流，产生的NOx主要集中在制绒槽上部，下部比较少，这样溶液就形成了许多浓度不同的氮氧化物层，仅仅只有上层是饱和的，但也溶液挥发，被排风抽走，短时间不放片制绒，不能持续产生NOx，和多晶硅片反应的上部溶液中的NOx的量急剧减少，制绒深度也会急剧下降，影响制绒的稳定性。

NIAK机台的原溶液循环设计为溶液由罐通过喷头喷入制绒槽内，但由于溶液为层流，多晶硅片进入制绒槽只和上层溶液反应，反应产生的NOx主要富集在上层溶液中，下层溶液中NOx浓度较小，且各层溶液交换很少，此种情况下如果不连续放片，就不能持续产生NOx，表层中的NOx很容易挥发，导致多晶硅片在和溶液反应时，NOx含量较少，制绒深度急剧下降，此种循环设计在放片速度不能完全均速的情况下，制绒深度波动较大。

发明内容

发明目的：是针对现有技术存在的不足，提供了一种制绒深度稳定的方法。

技术方案：为实现上述目的，本发明提供了一种制绒深度稳定的方法，NIAK机台的的在制绒槽中部设置前粗后细的多喷嘴管道，所述多喷嘴管道上的喷嘴从前到后喷出液体的高度相同。

本发明采用通过多喷嘴管道均匀的喷入制绒槽的各点，带动制绒槽中各处溶液的交换、循环；制绒槽中不再有层流现象，使NOx在制绒槽中均匀分布，不连续放片的时候由于制绒槽中各处的NOx相同且都处于饱和，此时从溶液中挥发出的氮氧化物的量不足以改变溶液成分，制绒深度波动较小，使制绒深度稳定。

本发明中所述多喷嘴管道上喷嘴喷嘴的位置位于传送滚轮的正下方；喷嘴和多喷嘴管道管道体之间安装限流圈来调节各道喷嘴喷出液体的高度，正好喷在传送滚轮上，不直接喷到硅片上，保证了多晶硅片制绒的稳定性、均匀性。

有益效果：本发明与现有技术相比具有以下优点：