[发明专利]一种单晶硅太阳能电池扩散偏磷酸片返工方法无效
申请号: | 201210372241.X | 申请日: | 2012-09-29 |
公开(公告)号: | CN102881771A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 任哲;刘文峰;郭进;成文;姬常晓 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B08B3/08 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 太阳能电池 扩散 磷酸 返工 方法 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池片的加工,具体的说本发明是一种单晶硅太阳能电池片扩散偏磷酸片返工方法,即扩散时炉管内因进入水汽产生的偏磷酸滴落在电池片表面的清洗处理方法。
背景技术
目前,单晶硅太阳能电池对外观的要求比较高。在生产过程中,由于水汽进入扩散管导致偏磷酸滴落在电池表面造成的偏磷酸片很难用常规方法清洗干净。若偏磷酸残留在电池正面,会导致有偏磷酸的部分无法镀膜,严重影响到镀膜的效果;若偏磷酸残留在电池背面,会导致铝浆难以附着,影响到铝背场的印刷,从而使开路电压降低。
因此,解决偏磷酸片的清洗问题,可以有效地提高产品合格率。目前,已有的返工技术是使用HF清洗液清洗后再重新制绒。由于重新制绒会减小硅片的厚度,从而影响到成品的合格率。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足,本发明提供了一种单晶硅太阳能电池扩散偏磷酸片返工方法,该方法解决了单晶硅扩散偏磷酸片的返工问题,提高了成品的合格率。
本发明所采用的技术方案是:
一种单晶硅太阳能电池扩散偏磷酸片返工方法,该方法包含以下步骤:
(1)用质量浓度为0.8%—1.2%的NaOH溶液,在50℃-60℃的温度下清洗单晶硅太阳能电池片上残留的偏磷酸,清洗时间控制在30s以内;
(2)将步骤(1)处理后的电池片在体积浓度为10%-15%的HF清洗液中反应180s—220s,去除电池片表面的氧化层;
(3)将步骤(2)处理后的电池片在体积浓度为10%-15%的HCl清洗液中反应180s—220s,去除电池片表面的金属杂质。
步骤(1)中NaOH溶液的质量浓度优选为1%,清洗时间优选控制在20 s-30s。
步骤(2)中所述HF清洗液是由HF﹕H2O=16﹕120的体积比例配制而成。在HF清洗液中反应优选为200s。
步骤(3)中所述HCl清洗液由HCl﹕H2O=16﹕120的体积比例配制而成。在HCl清洗液中反应优选为200s。
本发明的原理是利用三种化学试剂,分三步去除残留的偏磷酸以及金属离子。
第一步,以用低浓度的NaOH溶液在60℃的温度下反应30s为例,去除偏磷酸,其化学反应式是,
第二步,用HF清洗液去除电池片表面的氧化层。
第三步,用HCl清洗液去除电池片表面的金属杂质。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:经过本发明的方法处理后的电池片进行重新扩散,刻蚀,二次清洗,镀膜,印刷,烧结后,电池片的转换效率可以达到正常电池片水平,而且外观也与正常电池片无异,达到了返工清洗的目的。
具体实施方式
实施例1
一种单晶硅太阳能电池扩散偏磷酸片返工方法,具体包括如下步骤:
第一步,用低浓度的NaOH溶液,去除电池片表面的偏磷酸。
第一步具体的工艺过程是:
A、配制质量浓度为1%wt的低浓度NaOH溶液。
B、将低浓度NaOH溶液升温至60℃。
C、将偏磷酸片放入低浓度的NaOH溶液中反应30s,来去除电池片表面的偏磷酸。
D、用去离子水清洗掉电池片表面残留的NaOH。
第二步,用HF清洗液去除电池片表面的氧化层。
第二步具体的工艺过程是:
A、按HF﹕H2O=16﹕120的体积比例配制好HF清洗液。
B、将电池片在HF清洗液中反应200s,来去除电池片表面的氧化层。
C、用去离子水清洗掉电池片表面残留的HF清洗液。
第三步,用HCl清洗液去除电池片表面的金属杂质。
A、按HCl:H2O=16﹕120的体积比例配制好HCl清洗液。
B、将电池片在HCl清洗液中反应200s,来去除电池片表面的金属杂质。
C、用去离子水清洗掉电池片表面残留的HCl清洗液。
D、电池片甩干处理。
经过本方法处理后的电池片表面无偏磷酸残留,外观干净,无发亮现象。
实施例2
具体步骤同实施例1,只是第一步具体的工艺过程是:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南红太阳光电科技有限公司,未经湖南红太阳光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210372241.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:具有循环空气冷却的制冷设备
- 下一篇:一种栅格数字图像快速矢量化方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的