[发明专利]固相-数字PCR芯片及其制作方法

权利要求书

1.一种固相-数字PCR芯片的制作方法，包括如下步骤：

步骤1：取一基片，去除表面有机及无机杂质，并进行真空干燥；

步骤2：在基片正面生长牺牲层；

步骤3：通过光刻工艺和刻蚀工艺将掩模图形转移到牺牲层上；

步骤4：以牺牲层为掩膜，通过刻蚀工艺，在基片上形成微孔阵列；

步骤5：取一盖片，去除表面有机及无机杂质，并进行真空干燥；

步骤6：在盖片正面旋涂PDMS膜，并加热使PDMS膜固化；

步骤7：对PDMS膜进行表面处理，并将DNA探针结合在PDMS膜的表面；

步骤8：将基片与盖片键合，使基片上微孔阵列中的每个微孔形成独立反应池，形成固相-数字PCR芯片。

2.如权利要求1所述的固相-数字PCR芯片的制作方法，其中所述基片上微孔阵列以矩形、环形、镜像或密排的形式排布，且微孔数目大于5000，其微孔深度大于5微米。

3.如权利要求2所述的固相-数字PCR芯片的制作方法，其中所述基片上微孔阵列中的微孔形状为正多边形或圆形，正多边形的外接圆的直径或圆形的直径大于5微米，微孔的孔壁厚度大于2微米。

4.如权利要求1所述的固相-数字PCR芯片的制作方法，其中所述基片的材料为硅片、石英片、光纤面板或有机薄片。

5.如权利要求1所述的固相-数字PCR芯片的制作方法，其中所述盖片上旋涂的PDMS膜的厚度为5微米到500微米。

6.如权利要求5所述的固相-数字PCR芯片的制作方法，其中所述盖片上PDMS膜表面处理方式为氧等离子体处理或表面活性剂处理。

7.如权利要求6所述的固相-数字PCR芯片的制作方法，其中所述盖片的材料为石英片或硅片。

8.一种固相-数字PCR芯片，包括：

一基片；

一微孔阵列，该微孔阵列通过光刻工艺和两步刻蚀工艺制作在基片上；

一盖片；

一PDMS膜，该PDMS膜通过旋涂、加热固化在盖片表面；

该基片，微孔阵列，盖片与PDMS膜形成了固相-数字PCR芯片。

9.如权利要求8所述的固相-数字PCR芯片，其中所述基片的材料为硅片、石英片、光纤面板或有机薄片。

10.如权利要求8所述的固相-数字PCR芯片，其中所述盖片的材料为石英片或硅片。

11.如权利要求10所述的固相-数字PCR芯片，其中所述盖片上旋涂的PDMS膜的厚度为5微米到500微米。

12.如权利要求8所述的固相-数字PCR芯片，其中所述基片上微孔阵列以矩形、环形、镜像或密排的形式排布，且微孔数目大于5000，其微孔深度大于5微米。

13.如权利要求12所述的固相-数字PCR芯片，其中所述基片上微孔阵列中的微孔形状为正多边形或圆形，正多边形的外接圆的直径或圆形的直径大于5微米，微孔的孔壁厚度大于2微米。