[发明专利]一种承载台

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种承载台（Cassette Index Platform）。

背景技术

在集成电路制造过程中，一片晶圆需要经过很多的工序才能够完成，通常，业内在一个具有卡匣（cassette）的晶圆盒（pod）内存放25片，在加工时则用机械手臂取出相应的晶圆。

然而上述设计不可避免的存在一个潜在危险，那就是由于机械手臂不具有自主判断能力，只能机械的执行命令，则当cassette移位，如cassette本身在pod内的位置不正确，或由于设备承载cassette的承载台位置异常时，就会发生诸如撞片，叠片等异常现象，如此会造成当前片受损，并很有可能对整批25片都产生影响，形成很恶劣的缺陷（defect），导致整批报废。

AMAT公司研发的用于刻蚀工艺的APPLIED Centura II设备同样具有承载台，请参考图1和图2，其具体结构为：包括支撑台1，所述支撑台1上具有3个有螺孔的突起11、12、13；定位装置2，所述定位装置2具有多个通孔5，螺栓31、32、33与突起11、12、13一一对应并通过通孔5与突起内的螺孔拧合在一起，使得支撑台1与定位装置2连接；支撑台1和定位装置2之间有弹簧4，所述弹簧嵌套在突起11、12、13和螺栓31、32、33上。该承载台能够对cassette进行定位，从而有利于机械手臂伸到cassette中取/送晶圆。

事实证明，该结构不稳定性差，随着过货的累积，不断的重量冲击使得螺栓松动，从而导致定位装置2发生移动，则置于其上的cassette也会随之产生倾斜等位置问题，在此情况下，机械手臂的运动就会导致诸如撞片等事情发生，产生极大的不良影响。且在上述情况发生后，需要对3个螺栓重新定位，重新获取所需要的位置，这也需要耗费较多的时间和人力物力投入，不利于高效生产。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种承载台，以改进现有结构中定位装置稳定性差的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种承载台，包括：

支撑台，所述支撑台上具有多个有第一固定孔的突起；

定位装置，用于晶圆传输时的定位，所述定位装置具有多个通孔；

固定件，所述固定件通过所述通孔与所述第一固定孔，将所述定位装置与所述支撑台连接；

紧固件，所述紧固件用于锁定固定件。

可选的，对于所述的承载台，所述固定件为螺栓。

可选的，对于所述的承载台，所述第一固定孔内侧具有螺纹。

可选的，对于所述的承载台，所述螺栓穿过所述通孔与所述第一固定孔相拧合。

可选的，对于所述的承载台，所述紧固件为螺帽。

可选的，对于所述的承载台，所述螺帽拧于所述螺栓上并紧靠所述突起。

可选的，对于所述的承载台，所述紧固件为螺栓。

可选的，对于所述的承载台，所述定位装置还具有多个侧孔和第二固定孔。

可选的，对于所述的承载台，所述第二固定孔具有螺纹。

可选的，对于所述的承载台，所述侧孔和第二固定孔共轴线且所述轴线通过所述通孔。

可选的，对于所述的承载台，所述固定件顶部具有连接孔。

可选的，对于所述的承载台，所述紧固件穿过侧孔和连接孔与第二固定孔相固定。

可选的，对于所述的承载台，所述第一固定孔与通孔一一对应。

可选的，对于所述的承载台，还包括多个缓冲装置，所述缓冲装置嵌套在所述突起上。

可选的，对于所述的承载台，所述缓冲装置的高度大于所述突起的高度。

可选的，对于所述的承载台，所述定位装置置于所述缓冲装置上。

可选的，对于所述的承载台，所述缓冲装置为弹簧。

本发明提供的承载台中，通过使用紧固件，使得固定件处于比较牢固的状态，或者将固定件和定位装置固定在一起，避免了现有技术中由于过货较多而导致固定件松动，从而导致定位装置位置发生变化，进而使得晶圆受损的问题，同时固定件的采用能够防范于未然，也不会浪费人力物力，极大的提高了生产效率。

附图说明

图1为现有技术的承载台的主视图；

图2为现有技术的承载台的俯视图；

图3为本发明实施例一的承载台的主视图；

图4为本发明实施例一的承载台的俯视图

图5为本发明实施例二的承载台的主视图；

图6为本发明实施例二的承载台的俯视图；