[发明专利]洁净室及其净化单元有效
| 申请号: | 201210364869.5 | 申请日: | 2012-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN102864952A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
| 发明(设计)人: | 蒋运芍;吴俊豪;林昆贤;汪永强;舒志优;郭振华 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | E04H5/02 | 分类号: | E04H5/02;F24F7/007;B01D50/00;B01D46/00 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 洁净室 及其 净化 单元 | ||
技术领域
本发明涉及液晶面板生产制造技术领域,特别是涉及一种洁净室及其净化单元。
背景技术
洁净室亦称为无尘室或清净室,洁净室最主要之作用在于控制产品(如玻璃基板)所接触之空气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。
在现有技术中,洁净室的清洁是通过洁净室的顶板上的风机滤器单元向洁净室内吹出洁净空气,将洁净室内的污染空气(含微尘粒子等)从排风口排出。
然而,洁净室内通常会由于各种摩擦、感应等而存在静电,静电会吸附洁净室中的粒子,导致洁净室的粒子不易清除,此外,静电还可能对液晶模组的IC、ITO等造成击穿。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种洁净室及其净化单元,以解决现有技术中洁净室没有静电消除措施的问题。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种洁净室,用于存放玻璃基板,该洁净室包括:
排风口,设于该洁净室的底部;
净化单元,设于该洁净室的顶部,该净化单元用于向该洁净室提供洁净的离子风以消除该玻璃基板表面的静电和该洁净室内的粒子。
根据本发明一优选实施例,该净化单元包括风机、过滤装置以及负离子净化器,该风机吸入空气后经由该过滤装置过滤再经由该负离子净化器作用吹出离子风。
根据本发明一优选实施例,该过滤装置包括预过滤器、高效过滤器以及超高效过滤器。
根据本发明一优选实施例,该洁净室包括顶板、侧板以及底板,该净化单元设于该顶板上,该排风口设于该底板上。
根据本发明一优选实施例,该洁净室包括储位架,该储位架放置于该底板上,用于存放卡匣,该卡匣用于存放该玻璃基板。
根据本发明一优选实施例,该洁净室包括导轨,该导轨设于该底板上。
根据本发明一优选实施例,该洁净室包括自动化搬运设备,该自动化搬运设备设于该导轨上,该自动化搬运设备包括搬运叉,该搬运叉用于叉取该储位架上的该卡匣。
根据本发明一优选实施例,该洁净室包括抽风机,该抽风机该设于该洁净室的底部,该抽风机与该净化单元配合形成垂直气流以减小该洁净室内的涡流现象。
根据本发明一优选实施例,该导轨为双轨,该双轨将该底板分隔为导轨内区和导轨外区,该抽风机设于该导轨内区内和/或该导轨外区内。
为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种净化单元,用于向洁净室提供洁净的离子风以消除该洁净室内的静电和粒子,该净化单元包括风机、过滤装置以及负离子净化器,该风机吸入空气后经由该过滤装置过滤再经由该负离子净化器作用吹出离子风。
本发明的有益效果是:区别于现有技术的情况,本发明提供的洁净室静电消除措施,通过向洁净室提供洁净的离子风来消除玻璃基板表面的静电和洁净室内的粒子,其清洁效率较较高,提高了产品良率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,其中:
图1为根据本发明一优选实施例的洁净室的立体结构示意图;
图2为根据本发明一优选实施例的洁净室的前视截面示意图;
图3为根据本发明一优选实施例的洁净室的俯视截面示意图;
图4为根据本发明一优选实施例的洁净室的净化单元的立体结构示意图;
图5为根据本发明另一优选实施例的洁净室的俯视截面示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请一并参阅图1至图3,本发明提供一种洁净室10,该洁净室10用于存放玻璃基板,该洁净室10包括排风口102和净化单元200。
其中,该排风口102设于该洁净室10的底部;该净化单元200设于该洁净室10的顶部,该净化单元200用于向该洁净室10提供洁净的离子风以消除该玻璃基板表面的静电和该洁净室10内的粒子。
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