[发明专利]洁净室及其净化单元

权利要求书

1.一种洁净室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述洁净室包括：

排风口，设于所述洁净室的底部；

净化单元，设于所述洁净室的顶部，所述净化单元用于向所述洁净室提供洁净的离子风以消除所述玻璃基板表面的静电和所述洁净室内的粒子。

2.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于：所述净化单元包括风机、过滤装置以及负离子净化器，所述风机吸入空气后经由所述过滤装置过滤再经由所述负离子净化器作用吹出离子风。

3.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于：所述过滤装置包括预过滤器、高效过滤器以及超高效过滤器。

4.根据权利要求3所述的洁净室，其特征在于：所述洁净室包括顶板、侧板以及底板，所述净化单元设于所述顶板上，所述排风口设于所述底板上。

5.根据权利要求4所述的洁净室，其特征在于：所述洁净室包括储位架，所述储位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。

6.根据权利要求5所述的洁净室，其特征在于：所述洁净室包括导轨，所述导轨设于所述底板上。

7.根据权利要求6所述的洁净室，其特征在于：所述洁净室包括自动化搬运设备，所述自动化搬运设备设于所述导轨上，所述自动化搬运设备包括搬运叉，所述搬运叉用于叉取所述储位架上的所述卡匣。

8.根据权利要求7所述的洁净室，其特征在于：所述洁净室包括抽风机，所述抽风机所述设于所述洁净室的底部，所述抽风机与所述净化单元配合形成垂直气流以减小所述洁净室内的涡流现象。

9.根据权利要求8所述的洁净室，其特征在于：所述导轨为双轨，所述双轨将所述底板分隔为导轨内区和导轨外区，所述抽风机设于所述导轨内区内和/或所述导轨外区内。

10.一种净化单元，用于向洁净室提供洁净的离子风以消除所述洁净室内的静电和粒子，其特征在于，所述净化单元包括风机、过滤装置以及负离子净化器，所述风机吸入空气后经由所述过滤装置过滤再经由所述负离子净化器作用吹出离子风。