[发明专利]基板检测及修复装置有效
申请号: | 201210362108.6 | 申请日: | 2012-09-25 |
公开(公告)号: | CN103035850A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 姜道焕;金显正;赵启峰;元龙渊 | 申请(专利权)人: | 灿美工程股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 姜虎;陈英俊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 修复 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种基板检测及修复装置,点亮基板并对其进行检查,对检查后发现的缺陷能够进行修复。
背景技术
平板显示器大致分为液晶显示器(LCD,Liquid Crystal Display),等离子显示器(PDP,Plasma Display Panel),发光二极管(LED,Light-Emitting Diode)显示器,有机发光二极管(OLED,Organic Light-Emitting Diode)显示器等。
有机发光二极管显示器具有低电压驱动,发光效率高,可视角度广,响应速度快等优点,作为可显示高清晰影像的新一代平板显示器而备受瞩目。
有机发光二极管显示器的制造过程中包括检测过程和修复过程。检测过程是向基板上形成的阳极线和阴极线供给电源而检查基板的缺陷,修复过程是利用激光修复检测出的基板上的缺陷部位。
制造平板显示器时,在检测装置上检测基板有无缺陷,发现基板存在缺陷,则将基板移送至修复装置,并对基板的缺陷部位进行修复。然后,将经修复的基板重新移送至检测装置进行复检。即,分别配备检测装置和修复装置,所以为了进行基板检测→修复→复检,还需要移送基板,从而存在降低生产率的缺点。
为解决上述问题,开发了一种实现检测装置和修复装置一体化的检测及修复装置。
现有的基板检测及修复装置,在点亮基板进行检查时,操作者将基板水平放置的状态下进行检查。而这样,基板距离操作者较远,所以操作者需要弯腰或低头,从而非常不便。
另外,在现有的基板检测及修复装置上固定有探针(Probe),该探针用于与基板的阳极线和阴极线连接并向基板供给电源,将基板从下往上移送,并使基板的阳极线和阴极线连接到探针上。即,通过移送基板将基板与探针连接,所以需要对应于基板移送空间的较大的安装空间。另外,需要用于移动基板的高价装置,进而提高成本。
发明内容
本发明是为解决上述现有技术中存在的问题而提出,本发明的目的在于,提供一种可方便操作者进行基板检测的基板检测及修复装置。
本发明的另一目的在于,提供一种可缩减安装空间的同时又能够降低成本的基板检测及修复装置。
技术解决方案
为了达到上述目的,本发明涉及的基板检测及修复装置,包括:工作台;检测单元,被设置在所述工作台上,并承载支撑着形成有阳极线和阴极线的基板,且具有向所述基板供给电源的多个探针(Probe),用于检测所述基板有无缺陷;修复单元,以能够向X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述工作台上,以修复所述基板的缺陷部位;所述检测单元被设置成在所述工作台上能够以一侧面为基准使另一侧面旋转,所述探针位于所述基板的下侧,且可升降地设置,从而与所述基板的所述阳极线和所述阴极线连接或不连接。本发明的有益效果是:
本发明涉及的基板检测及修复装置,通过旋转用于承载支撑基板的检测单元而将基板竖立起来,从而拉近基板与操作者之间的距离,能够将操作者对基板的视线角度设定为舒适的角度。因此,具有检测操作非常方便的效果。
另外,基板被支撑固定在检测单元上,检测单元的探针在基板的下侧进行升降的同时与基板的电极线连接或不连接。即,小尺寸及小体积的探针在进行升降,而且探针设置在检测单元的内部,因此,能够缩减基板检测及修复装置的安装空间。
另外,不需要用于移动基板的高价装置,可降低基板检测及修复装置的成本。
附图说明
图1是本发明的一实施例涉及的基板检测及修复装置的立体图。
图2是示出图1所示的检测单元旋转状态的侧视图。
图3是示出旋转图1所示的检测单元的状态下操作者检测基板的概略侧视图。
图4是图1所示的检测单元的放大立体图。
图5是示出图4所示的按压板向外侧移动的状态的立体图。
图6是图5的“A”部分的放大图。
图7是图6所示的探针的截面图。
附图标记:
100:工作台 200:检测单元
261:探针 271:按压板
300:修复单元 400:暗室
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择