[发明专利]基板检测及修复装置

权利要求书

1.一种基板检测及修复装置，其特征在于，包括：

工作台；

检测单元，被设置在所述工作台上，并承载支撑着形成有阳极线和阴极线的基板，且具有向所述基板供给电源的多个探针，用于检测所述基板有无缺陷；

修复单元，以能够沿X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述工作台上，以修复所述基板的缺陷部位；

所述检测单元被设置成，在所述工作台上能够以一侧面为基准使另一侧面旋转，

所述探针位于所述基板的下侧，设置成可升降，并与所述基板的所述阳极线和所述阴极线连接或不连接。

2.根据权利要求1所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述工作台的一侧形成有暗室，该暗室为操作者对与所述检测单元一同旋转规定角度的所述基板进行目测检查的作业空间。

3.根据权利要求1所述的基板检测及修复装置，其特征在于，所述检测单元包括：

底台，设置在所述工作台上；

第一支撑块，长度方向与X轴方向平行地设置在所述底台上，且承载支撑所述基板的中央部侧；

一对第二支撑块，隔着所述第一支撑块分别设置在所述第一支撑块的一侧和另一侧的所述底台部位，且长度方向与X轴方向平行，可沿Y轴方向运动，并以相互靠近或远离的形式运动，且承载支撑与Y轴方向垂直的所述基板的一侧和另一侧外缘部；

一对第一钳位器，设置在所述第一支撑块的一端侧和另一端侧，以相互靠近或远离的形式运动，且分别支撑与X轴方向垂直的所述基板的一侧面和另一侧面；

第二钳位器，分别设置在所述第二支撑块上，且分别与所述第二支撑块一同运动的同时，分别支撑与Y轴方向垂直的所述基板的一侧面和另一侧面。

4.根据权利要求3所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

所述探针分别设置在所述第二支撑块侧，且分别与所述第二支撑块一同运动的同时，可相对于所述第二支撑块进行升降。

5.根据权利要求4所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述第二支撑块上分别设置有升降板，该升降板分别与所述第二支撑块一同运动的同时，可相对于所述第二支撑板进行升降，

在所述升降板上分别可拆装地结合有支撑架，

在所述支撑架上分别支撑设置有多个所述探针。

6.根据权利要求5所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

所述探针被设置成，可相对于所述支撑架升降，

在所述支撑架上设置有弹性支撑构件，该弹性支撑构件向所述基板侧弹性支撑所述探针。

7.根据权利要求5所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述第二支撑块上分别设置有多个按压板，该按压板分别与所述第二支撑块一同运动的同时，可相对于所述第二支撑块升降，并向下按压所述基板的上表面的外缘部侧。

8.根据权利要求7所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

所述按压板被设置成，能够与所述第二支撑块的运动独立地分别沿Y轴方向进行直线运动。

9.根据权利要求8所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述底台上设置有能够沿Y轴方向运动的托板，

在所述托板上设置有所述第二支撑块，

在所述托板上形成有第一止动件和第二止动件，该第一止动件限制向靠近所述第二支撑块的方向运动的所述按压板的运动距离，该第二止动件限制向远离所述第二支撑块的方向运动的所述按压板的运动距离。

10.根据权利要求9所述的基板检测及修复装置，其特征在于，

在所述按压板上形成有卡止凸起，该卡止凸起沿所述按压板的运动方向被卡在所述第一止动件或所述第二止动件上。