[发明专利]具有翻转功能的工作台有效
| 申请号： | 201210350526.3 | 申请日： | 2012-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN103659767A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;崔鋆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/18 | 分类号： | B25H1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 翻转 功能 工作台 | ||
1.一种具有翻转功能的工作台，其特征在于，包括：底座、下端连接于所述底座上的支撑立柱；其中在所述支撑立柱上端设有用于翻转靶材基板的翻转板；
所述翻转板包括两块支撑板，所述两块支撑板相邻的两端活动连接，并通过两者之间相对的转动调整两块支撑板所成的角度；
所述工作台还包括驱动装置，所述驱动装置带动所述支撑板，实现所述两块支撑板的相对转动。
2.根据权利要求1所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述驱动装置为位于所述翻转板下方的气弹簧，所述气弹簧的活塞杆顶端与其中一块支撑板活动连接。
3.根据权利要求1所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述支撑立柱至少包括分别与所述两块支撑板对应的第一立柱和第二立柱；
其中，所述第一立柱上端与一块所述支撑板活动连接，下端与所述底座固定连接。
4.根据权利要求3所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述驱动装置为位于所述翻转板下方的气弹簧，所述气弹簧活动连接于所述第一立柱上，所述气弹簧的活塞杆顶端与所述第一立柱对应的支撑板铰接。
5.根据权利要求4所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述第二立柱上端与另一块支撑板活动连接，下端与所述底座活动连接。
6.根据权利要求1所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述两块支撑板基于对应转动所成的最小角度小于40°。
7.根据权利要求1所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，在所述两块支撑板的表面均覆盖有一层靶材基板保护层。
8.根据权利要求1所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述两块支撑板通过铰接轴活动连接，且在所述铰接轴上包覆有耐热软质材料垫。
9.根据权利要求7所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述靶材基板保护层由铝制成。
10.根据权利要求8所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述耐热软质材料垫为耐热橡胶制成。
11.根据权利要求1所述的具有翻转功能的工作台，其特征在于，所述底座装有滑轮。
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