[发明专利]MEMS麦克风的制造方法无效
| 申请号： | 201210339808.3 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102868965A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 陈虎;王凯 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声声学科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风的制造方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
（1）提供一线路板、控制电路芯片以及设有背腔的微机电芯片，将控制电路芯片与微机电芯片固定在所述线路板上；
（2）提供一设有内壁的金属外壳，在外壳的内壁蒸镀绝缘层；
（3）将蒸镀有绝缘层的外壳盖接在线路板上，使外壳与线路板形成收容腔，并且控制电路芯片与微机电芯片位于所述收容腔中。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风的制造方法，其特征在于：所述绝缘层为耐高温的绝缘漆。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风的制造方法，其特征在于：在步骤（1）中，分别将微机电芯片与控制电路芯片、控制电路芯片与线路板通过绑定金线电连接。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风的制造方法，其特征在于：在步骤（2）中，先将外壳设置声孔，所述收容腔通过声孔与外界相通。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风的制造方法，其特征在于：在步骤（2）中，先将线路板设置声孔，所述微机电芯片的背腔通过声孔与外界相通。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风的制造方法，其特征在于：在步骤（3）中，所述绝缘层位于外壳的部分内壁上。
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