[发明专利]过滤装置及应用该过滤装置的真空镀膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种过滤装置及应用该过滤装置的真空镀膜装置。

背景技术

现有的真空镀膜装置，通常设置有一循环冷却装置，用以对真空镀膜装置的真空泵、靶源及反应室腔壁等部件进行冷却处理，避免上述部件因过热而损坏。

为了降低成本，自来水作为冷却水被广泛应用于镀膜工艺中。虽然循环冷却装置的水管一般为不锈钢材质，但自来水中含有少量Na⁺、Mg⁺及Cl^-等容易使不锈钢材质发生腐蚀反应的离子，长期使用后，水管的内周壁仍会发生一定的腐蚀反应，并在冷却水中产生褐色或红色的絮状物。该絮状物的主要成分为铁锈。当上述絮状物积累较多时，将会沉积在待冷却部件内部和水管内周壁上，特别是靶源的磁芯上将吸附大量的絮状物。如此将降低冷却效率，同时加速水管内表面的腐蚀反应并产生更多的絮状物。虽然可通过拆卸、清洗靶源，以去除沉积于靶芯上的絮状物，但耗费人力成本较大、并容易造成停工损失。另外，无法对循环冷却装置的水管内周壁进行直接清洗。

发明内容

鉴于此，本发明提供一种冷却液过滤装置。

另外，本发明还提供一种应用所述的过滤装置的真空镀膜装置。

一种过滤装置，其包括管道装置、电磁发生装置、一磁吸附装置及一物理吸附装置，该管道装置包括一主体管、分别与主体管连通的第一支管及一第二支管，该电磁发生装置套设在该主体管邻近该第一支管的一端。该磁吸附装置可拆卸地容置在该第一支管内，该物理吸附装置可移动地安装在该主体管内。

一种应用所述的过滤装置的真空镀膜装置，该真空镀膜装置包括一循环冷却装置，该循环冷却装置包括一进水管及一出水管，该过滤装置的主体管靠近该第一支管的一端与该出水管连接，该主体管远离该第一支管的一端与该进水管连接。

该过滤装置可大大降低冷却水中的杂质，提高与该过滤装置连接的冷却水循环装置的冷却效率，还可延长冷却水循环装置及被冷却装置的使用寿命。

附图说明

图1为本发明较佳实施例的过滤装置的剖视示意图。

图2为图1所示电磁发生装置套设于主体管的剖视示意图。

图3为图1中所示磁吸附装置的示意图。

图4为图1中所示电磁发生装置产生电磁场的状态示意图。

图5为图1中所示电磁发生装置产生电磁场的另一状态示意图。

图6为图1所示过滤装置的使用状态示意图。

图7为应用图1所示过滤装置的真空镀膜装置的示意图。

主要元件符号说明