[发明专利]磁传感器的检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种磁传感器检查装置，包括：

平台，所述平台用于在其上安装磁传感器的晶片状阵列，所述平台能够在水平方向和竖直方向上移动；

探测器卡，所述探测器卡被定位为与所述平台相对，并且所述探测器卡配备了多个探测器，所述多个探测器与被包围在测量区域中的所述多个磁传感器接触；

多个磁场产生线圈，所述多个磁场产生线圈被定位为围绕所述探测器卡和所述平台，以便朝向在所述平台上安装的所述多个磁传感器产生磁场；

多个磁场环境测量传感器，所述多个磁场环境测量传感器被布置在围绕所述多个探测器的所述探测器卡的外围部分中；以及

磁场控制器，所述磁场控制器用于基于所述多个磁场环境测量传感器的测量结果来控制由所述磁场产生线圈产生的磁场。

2.根据权利要求1所述的磁传感器检查装置，进一步包括多个温度环境测量传感器，所述多个温度环境测量传感器被定位为接近所述探测器卡的所述外围部分中的所述多个磁场环境测量传感器，其中，所述磁场控制器基于所述多个温度环境测量传感器的测量结果来校正所述多个磁场环境测量传感器的所述测量结果，从而基于与向所述平台上安装的所述多个磁传感器施加的磁场有关的已校正测量结果来控制由所述磁场产生线圈产生的磁场。

3.根据权利要求2所述的磁传感器检查装置，进一步包括温度调节器，所述温度调节器用于调节所述平台的温度。

4.根据权利要求3所述的磁传感器检查装置，其中，所述温度调节器包括：温度控制器；嵌入在所述平台内侧的加热介质循环管；平台温度传感器，所述平台温度传感器嵌入在所述平台内侧并且被布置在包括所述多个磁传感器的所述晶片下方；以及，所述多个温度环境测量传感器，并且其中，所述温度控制器基于由所述平台温度传感器检测的平台温度以及所述多个温度环境测量传感器的测量结果来控制通过所述加热介质循环管进行循环的加热介质。

5.一种磁传感器检查方法，包括：

制备磁传感器检查装置，所述磁传感器检查装置包括：平台；具有多个探测器的探测器卡；围绕所述平台和所述探测器卡的多个磁场产生线圈；以及，在围绕所述多个探测器的所述探测器卡的外围部分中布置的多个磁场环境测量传感器；

在所述平台上安装磁传感器的晶片状阵列；

在水平方向和/或竖直方向上移动所述平台，以便使得所述多个探测器与所述平台上的所述多个磁传感器接触；

驱动所述多个磁场产生线圈，以便朝向所述平台上的所述多个磁传感器产生磁场；

基于所述多个磁场环境测量传感器的测量结果，通过反馈控制来调节由所述磁场产生线圈产生的磁场；以及

使用所述探测器卡来同时检查所述多个磁传感器。

6.根据权利要求5所述的磁传感器检查方法，进一步包括：

基于多个温度环境测量传感器的测量结果来校正所述多个磁场环境测量传感器的测量结果，所述多个温度环境测量传感器被定位为接近所述探测器卡的所述外围部分中的所述多个磁场环境测量传感器；以及

基于与向所述平台上安装的所述多个磁传感器施加的磁场有关的已校正测量结果，控制由所述磁场产生线圈产生的磁场。

7.根据权利要求5所述的磁传感器检查方法，进一步包括：

测量所述平台的平台温度；以及

控制通过嵌入在所述平台内侧的加热介质循环管进行循环的加热介质，从而将所述平台温度调节在期望的温度。