[发明专利]受光或者发光元件、太阳能电池、光传感器、发光二极管

说明书

技术领域

本发明涉及受光或者发光元件、太阳能电池、光传感器、发光二极管以及面发光激光元件，更详细地说，涉及在电极具有特征的受光以及发光元件、太阳能电池、光传感器、发光二极管以及面发光激光元件。

背景技术

对太阳能电池或者受光元件的电极，使用具有高导电性以及在可见光区域的高透射率的透明导电膜。此外，从（日本）特开2002-256423可知，用于基于溅射法形成这样的透明导电膜的烧结体目标。用于制作该透明导电膜的烧结体目标的特征在于，由铟、钼、氧构成，在原子数量比上，钼相对于铟以0.003~0.20的比例存在，且烧结体相对密度为90%以上。

此外，从（日本）特开2011-201301可知如下的层叠体：在基体上，具有缓冲层，缓冲层由从以下三种薄膜中选择的至少一种以上薄膜构成：氧化镓薄膜；由镓、铟以及氧构成的氧化物薄膜；以及由镓、铟、铝以及氧构成的氧化物薄膜，在缓冲层上以氧化钛为主成分，形成由包含从如下的元素中选择的至少一种以上元素的氧化物薄膜构成的透明导电膜层：铌、钽、钼、砷、锑、以及钨。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：（日本）特开2002-256423

专利文献2：（日本）特开2011-201301

发明内容

发明要解决的课题

但是，在这些专利公开公报中公开的透明导电膜、透明导电层中，例如，如果钼的含量高，则虽然能够得到低的接触电阻值，但存在透光率降低的问题。

从而，本发明的目的在于，提供一种包含具有低的接触电阻值和高的透光率的电极的受光或者发光元件、太阳能电池、光传感器、发光二极管以及面发光激光元件。

用于解决课题的方法

用于达到上述目的的本发明的受光或者发光元件具有：

多个化合物半导体层层叠而成的受光或者发光层；以及

电极，由透明导电材料构成，具有第1面以及相对于第1面的第2面，在第1面中与受光或者发光层接触，

透明导电材料中包含有由从由钼、钨、铬、钌、钛、镍、锌、铁以及铜组成的组中选择的至少一种金属或者其化合物构成的添加物，

在电极的第1面的界面附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度比在电极的第2面的附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度还高。

用于达到上述目的的本发明的太阳能电池或者光传感器具有：

多个化合物半导体层层叠而成的受光层；以及

电极，由透明导电材料构成，具有第1面以及相对于第1面的第2面，在第1面中与受光层接触，

透明导电材料中包含有由从由钼、钨、铬、钌、钛、镍、锌、铁以及铜组成的组中选择的至少一种金属或者其化合物构成的添加物，

在电极的第1面的界面附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度比在电极的第2面的附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度还高。

用于达到上述目的的本发明的发光二极管或者面发光激光元件具有：

多个化合物半导体层层叠而成的发光层；以及

电极，由透明导电材料构成，具有第1面以及相对于第1面的第2面，在第1面中与发光层接触，

透明导电材料中包含有由从由钼、钨、铬、钌、钛、镍、锌、铁以及铜组成的组中选择的至少一种金属或者其化合物构成的添加物，

电极的第1面的界面附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度比电极的第2面的附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度还高。

对于本发明的受光或者发光元件、太阳能电池、光传感器、发光二极管或者面发光激光元件，在透明导电材料中包含有添加物，而且，由于在电极的第1面的界面附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度比在电极的第2面的附近的透明导电材料中包含的添加物的浓度还高，因此，能够提供满足较低的接触电阻值和较高的透光率这两者的电极。

附图说明

图1A以及图1B分别是实施例1以及实施例2的受光或者发光元件、太阳能电池以及光传感器的示意性的截面图。

图2是实施例3的受光或者发光元件以及太阳能电池的示意性的截面图。

图3A以及图3B是实施例4的发光二极管以及面发光激光元件的示意性的截面图。

图4是表示实施例1中的电极的厚度方向的二次离子质量分析结果的曲线图。