[发明专利]薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过从喷嘴朝向基板吐出薄膜材料的液滴来形成薄膜图案的装置、薄膜图案的形成方法及装置的调整方法。 

背景技术

对在印刷配线板形成阻焊抗蚀剂图案的以往的方法进行说明。首先，在表面形成有回路图案的印刷配线板的整个面涂布感光性阻焊抗蚀剂。利用预定的掩模图案，对阻焊抗蚀剂膜进行曝光之后显影，由此形成阻焊抗蚀剂图案。 

将阻焊抗蚀剂液滴化，使液滴仅附着于印刷配线板的所期望的区域并使其固化，由此形成有阻焊抗蚀剂图案的技术备受瞩目。阻焊抗蚀剂的液滴从多个喷嘴朝向印刷配线板吐出。能够通过向附着于印刷配线板的表面的液滴照射紫外线来使液滴固化。 

专利文献1：日本特开2004-104104号公报 

有时因阻焊抗蚀剂等液状材料而在喷嘴孔产生堵塞等不良情况。若产生喷嘴堵塞等不良情况，则不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。并且，期望迅速地进行喷嘴孔的不良恢复处理（矫正处理）的技术。 

发明内容

基于本发明的一个观点，提供一种薄膜图案形成装置，其具有： 

载物台，保持基板； 

喷嘴单元，与所述基板对置且设置有向所述基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔； 

移动机构，相对于所述喷嘴单元，向该基板的面内方向移动所述 基板； 

第1拍摄装置，检测由涂布于所述基板的薄膜材料形成的薄膜图案；及 

控制装置， 

所述控制装置使薄膜材料的液滴从所述喷嘴单元向所述基板吐出，由附着于所述基板的薄膜材料形成检查图案， 

获取用所述第1拍摄装置拍摄的所述检查图案的图像数据， 

通过分析所获取的图像数据来判定所述喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。 

基于本发明的其他观点，提供一种薄膜图案形成方法，所述薄膜图案形成方法具有： 

从具有多个喷嘴孔的喷嘴单元吐出薄膜材料的液滴来在基板上形成由薄膜材料构成的检查图案的工序； 

通过观察所述检查图案来判定所述喷嘴孔是否良好的工序；及 

在停止从判定为不良的所述喷嘴孔吐出薄膜材料的状态下，从正常的所述喷嘴孔吐出薄膜材料，由此在基板上形成作为目标的薄膜图案的工序。 

基于本发明的又一其他观点，提供一种薄膜形成装置的调整方法，所述薄膜形成装置具有： 

载物台，其在保持面保持基板； 

多个喷头，其与保持在所述载物台的基板对置且形成有朝向所述基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔； 

移动机构，使所述载物台与所述喷头中的一方相对于另一方朝向与所述保持面平行的方向移动；及 

拍摄装置，能够相对于所述喷头移动，并构成为能够移动至能够拍摄所述喷嘴孔的位置， 

所述调整方法具有： 

将所述拍摄装置移动至能够拍摄所述喷头的位置，并拍摄至少2个所述喷头的工序；及 

根据拍摄到的所述喷头的图像，调整多个所述喷头的相对位置的工序。 

发明效果: 

能够通过进行使判定为不良的喷嘴孔不吐出薄膜材料的控制来防止产生起因于不良喷嘴孔的薄膜图案不良。并且，即使在产生不良喷嘴孔的状态下也能够进行薄膜图案的形成，由此来抑制装置运转率的下降。 

能够通过拍摄至少2个所述喷头来轻松地调整喷头的相对位置。 

附图说明

图1是实施例1的描绘装置的概要图。 

图2A是喷嘴单元的立体图，图2B是喷嘴单元的仰视图。 

图3是表示喷嘴与喷嘴图像的位置关系的图。 

图4是形成薄膜图案的基板的俯视图。 

图5A是喷嘴单元与喷嘴单元支承机构的仰视图，图5B是表示基板表面的扫描顺序的图。 

图6A是拆卸一个喷嘴单元的状态的喷嘴单元与喷嘴单元支承机构的仰视图，图6B是表示拆卸一个喷嘴单元的状态下的基板表面的扫描顺序的图。 

图7A是实施例1的薄膜图案形成方法的流程图。 

图7B是图7A的步骤S4的详细流程图。 

图7C是图7A的步骤S8的详细流程图。 

图8A是表示设计上的检查图案的图，图8B是表示实际上形成的检查图案的一例的图。 

图9A是正常薄膜图案的一部分的俯视图，图9B是产生不良的薄膜图案的一部分的俯视图。 

图10是实施例2的薄膜形成装置的概要图。