[发明专利]薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法

权利要求书

1.一种薄膜图案形成装置，其具有：

载物台，保持基板；

喷嘴单元，与所述基板对置且设置有多个向所述基板吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔；

移动机构，相对于所述喷嘴单元，向该基板的面内方向移动所述基板；

第1拍摄装置，检测由涂布于所述基板的薄膜材料形成的薄膜图案；及

控制装置，

所述控制装置使薄膜材料的液滴从所述喷嘴单元向所述基板吐出，由附着于所述基板的薄膜材料形成检查图案，

获取用所述第1拍摄装置拍摄的所述检查图案的图像数据，

通过分析所获取的图像数据来判定所述喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。

2.如权利要求1所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述控制装置进行使薄膜材料不从判定为不良的喷嘴孔吐出的控制，且使薄膜材料从判定为良好的喷嘴孔吐出，由此在所述基板上形成薄膜图案。

3.如权利要求2所述的薄膜图案形成装置，其中，

在所述基板上形成薄膜图案时，所述控制装置移动所述基板，以便成为与无判定为不良的喷嘴孔时的扫描顺序相同的扫描顺序。

4.如权利要求1所述的薄膜图案形成装置，其进一步具有：

除所述喷嘴单元以外的至少1个相同结构的其他喷嘴单元；及

喷嘴单元支承机构，能够装卸地支承所述多个喷嘴单元，

所述控制装置控制所述喷嘴单元及所述移动机构，以便仅使用安装于所述喷嘴单元支承机构的喷嘴单元，在所述基板上形成作为目标的薄膜图案。

5.如权利要求4所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述移动机构具有即使用所述多个喷嘴单元中的任意1个也能够在所述基板的整个区域形成作为目标的薄膜图案的行程。

6.如权利要求4所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述薄膜图案形成装置进一步具有进行不良喷嘴的恢复处理的矫正装置，

若所述喷嘴单元各自的不良喷嘴孔的个数超过允许值，则所述控制装置将该喷嘴单元判定为暂时故障，

所述控制装置对判定为暂时故障的喷嘴单元进行使用所述矫正装置的恢复处理，

所述控制装置使用包括恢复处理后的所述喷嘴单元在内的所有所述喷嘴单元进行形成所述检查图案的处理，进而进行获取所述图像数据的处理及判定所述喷嘴单元是否良好的处理。

7.如权利要求6所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述薄膜图案形成装置进一步具有操作人员输入指令的输入装置，

所述控制装置包括存储所述允许值的存储装置，并将从所述输入装置输入的允许值写入所述存储装置。

8.如权利要求6所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述控制装置按每个所述喷嘴单元存储判定为暂时故障的次数，若判定为暂时故障的次数超过故障次数上限值，则从所述输出装置发出警报。

9.如权利要求1所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述基板的表面划定有应形成目标薄膜图案的目标图案区域，所述目标图案区域周围划定有未形成目标薄膜图案的未使用区域，

所述控制装置在所述未使用区域形成所述检查图案。

10.如权利要求1所述的薄膜图案形成装置，其中，

当形成所述检查图案时，所述控制装置相对于所述喷嘴单元移动所述基板的同时，形成所述检查图案。

11.如权利要求1所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述薄膜图案形成装置进一步具有第2拍摄装置，其能够相对于所述喷头移动，并构成为能够移动至能够拍摄所述喷嘴孔的位置。

12.如权利要求11所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述第2拍摄装置安装于所述载物台。

13.如权利要求11所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述控制装置控制所述第2拍摄装置的移动，使所述第2拍摄装置移动至能够拍摄被推断为存在不良喷嘴孔的可疑区域的位置。

14.如权利要求13所述的薄膜图案形成装置，其中，

所述薄膜图案形成装置进一步具有操作人员操作的输入装置，操作人员利用所述输入装置输入所述可疑区域的位置信息，由此将所述可疑区域的位置信息提供给所述控制装置。