|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 4个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]基板制造装置-CN201280035355.3有效
-
中森靖仁;矶圭二;冈本裕司;白石达朗;市川英志;内海和晴
-
住友重机械工业株式会社
-
2012-07-06
-
2014-04-09
-
H05K3/28
- 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
- 制造装置
- [发明专利]激光加工装置及其加工方法-CN01124917.X无效
-
矶圭二
-
住友重机械工业株式会社
-
2001-06-09
-
2002-01-23
-
B23K26/06
- 本发明提供一种使用紫外线区波长的激光束可缩短加工时间的激光加工装置以及加工方法。这种激光加工装置具有控制装置,该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号;第1激光源,该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第1脉冲激光束;第2激光源,该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第2脉冲激光束;将上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束会聚到同一点的聚光光学系统,以及保持装置,该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的脉冲激光束照射的位置。
- 激光加工装置及其方法
|
