[发明专利]用于清洁反应室的设备在审
| 申请号: | 201210271304.2 | 申请日: | 2012-07-31 |
| 公开(公告)号: | CN103374711A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
| 发明(设计)人: | 柳锺贤;洪思仁;崔珉镐 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 武树辰;王婧 |
| 地址: | 韩国庆尚*** | 国省代码: | 韩国;KR |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 清洁 反应 设备 | ||
1.一种用于清洁反应室的设备,包括:
清洁单元,所述清洁单元包括刷,所述刷插入到所述反应室中以执行清洁所述反应室的内部的过程;以及
遮挡单元,所述遮挡单元用于阻挡在利用所述刷来清洁所述反应室的内部的过程期间掉落下的物质。
2.根据权利要求1所述的设备,进一步包括:
清洁机器人,所述清洁机器人包括连接至所述清洁单元的清洁机械臂组件,所述清洁机器人调节所述清洁单元的位置;以及
遮挡机器人,所述遮挡机器人包括连接至所述遮挡单元的遮挡机械臂组件,所述遮挡机器人调节所述遮挡单元的位置。
3.根据权利要求1所述的设备,其中,所述清洁单元包括使所述刷旋转的马达。
4.根据权利要求3所述的设备,其中,在至少一个方向上调节所述刷的角度。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的设备,其中,所述遮挡单元在所述反应室的基座的上方展开。
6.根据权利要求5所述的设备,其中,所述遮挡单元包括多个遮挡件,其中,所述遮挡件彼此连接并且以彼此连接的状态展开。
7.根据权利要求5所述的设备,其中,所述遮挡单元包括遮蔽件,所述遮蔽件以滑动的方式展开。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于塔工程有限公司,未经塔工程有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210271304.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





