[发明专利]用于清洁反应室的设备在审

专利信息
申请号: 201210271304.2 申请日: 2012-07-31
公开(公告)号: CN103374711A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 柳锺贤;洪思仁;崔珉镐 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 武树辰;王婧
地址: 韩国庆尚*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 用于 清洁 反应 设备
【权利要求书】:

1.一种用于清洁反应室的设备,包括:

清洁单元,所述清洁单元包括刷,所述刷插入到所述反应室中以执行清洁所述反应室的内部的过程;以及

遮挡单元,所述遮挡单元用于阻挡在利用所述刷来清洁所述反应室的内部的过程期间掉落下的物质。

2.根据权利要求1所述的设备,进一步包括:

清洁机器人,所述清洁机器人包括连接至所述清洁单元的清洁机械臂组件,所述清洁机器人调节所述清洁单元的位置;以及

遮挡机器人,所述遮挡机器人包括连接至所述遮挡单元的遮挡机械臂组件,所述遮挡机器人调节所述遮挡单元的位置。

3.根据权利要求1所述的设备,其中,所述清洁单元包括使所述刷旋转的马达。

4.根据权利要求3所述的设备,其中,在至少一个方向上调节所述刷的角度。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的设备,其中,所述遮挡单元在所述反应室的基座的上方展开。

6.根据权利要求5所述的设备,其中,所述遮挡单元包括多个遮挡件,其中,所述遮挡件彼此连接并且以彼此连接的状态展开。

7.根据权利要求5所述的设备,其中,所述遮挡单元包括遮蔽件,所述遮蔽件以滑动的方式展开。

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