[发明专利]平板式PECVD专用镀膜挂件

说明书

技术领域

本发明涉及一种平板式PECVD专用镀膜挂件。

背景技术

利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一。目前，80%以上的太阳能电池是由晶体硅材料制备而成的，制备高效率低成本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义。减反射膜的制备和氢钝化是制备高效率的晶体硅太阳能电池的非常重要工序之一。

PECVD镀膜分为管式PECVD镀膜和平板式PECVD镀膜，后者的成本稍低一些，一般使用较多。现有的平板式PECVD镀膜一般采用U形挂钩（如图1所示），这样形状的挂钩在硅片表面留下的钩子印面积较大，影响电池的转换效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了减少硅片表面留下的钩子印面积，提高电池转换效率，本发明提供一种平板式PECVD专用镀膜挂件。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种平板式PECVD专用镀膜挂件，该挂件呈平板式框架结构，所述的框架结构为上面开口的矩形框，其两侧底部对称设置有V形挂钩。

进一步，具体的，为了便于镀膜，所述的V形挂钩的两壁分别为V形挂钩的第一侧和V形挂钩的第二侧，V形挂钩的第一侧的内壁与所述的矩形框的外壁在同一直线上，且为一体结构，所述的V形挂钩的第二侧的厚度d向端部逐渐递减至零。

本发明的有益效果是，本发明的平板式PECVD专用镀膜挂件，采用V形挂钩，与现有的U形挂钩相比，一方面减小了挂钩体积，节约原材料，降低成本；另一方面，减少了硅片表面的镀膜钩子印面积，提升了电池的转换效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是现有平板式PECVD镀膜的U形挂钩。

图2是本发明的平板式PECVD专用镀膜挂件的结构示意图。

图3是图2中A处的放大图。

图中：1、矩形框，1-1、V形挂钩，1-1-1、V形挂钩的第一侧，1-1-2、V形挂钩的第二侧。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图2、3所示，是本发明平板式PECVD专用镀膜挂件的最优实施例，挂件呈平板式框架结构，框架结构为上面开口的矩形框1，其两侧底部对称设置有V形挂钩1-1。V形挂钩1-1的两壁分别为V形挂钩的第一侧1-1-1和V形挂钩的第二侧1-1-2，V形挂钩的第一侧1-1-1的内壁与所述的矩形框1的外壁在同一直线上，且为一体结构，所述的V形挂钩的第二侧1-1-2的厚度d向端部逐渐递减至零。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。